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マイクロスクラッチ試験機を使用した薄膜付着強度測定方法

シーズコード S130009532
掲載日 2013年6月5日
研究者
  • 馬場 茂
技術名称 マイクロスクラッチ試験機を使用した薄膜付着強度測定方法
技術概要 マイクロスクラッチ試験機を使用して薄膜付着強度測定を行う方法は、マイクロスクラッチ試験機の圧子針1から生じる電気信号をフーリエ分解し、分解した信号の中から基本周波数の偶数次の高調波を検出し、薄膜8の臨界損傷荷重を測定するようにした方法である。また、マイクロスクラッチ試験機を使用して薄膜付着強度測定を行う方法は、圧子針軸部を単振動させ摩擦によって生じる信号をフーリエ変換し、フーリエ変換後の各係数を演算し、摩擦信号の基本周波数の偶数次の高調波成分を測定して薄膜8の臨界損傷荷重を測定するようにした方法である。カンチレバー2の圧子針1は薄膜8との摩擦力がなければ支点の運動に完全に追従するが、圧子針1と薄膜8との間に働く摩擦力のために、圧子針1の運動は支点の運動より遅れる。この時の圧子針1と支点の相対運動がセンサーコイル6を介して誘導起電力としてピックアップされる。
画像

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研究分野
  • 固体の機械的性質一般
展開可能なシーズ 延展性の強い金属の薄膜を付着した試料であっても明確な薄膜臨界損傷を検出できるマイクロスクラッチ試験機による薄膜付着強度測定方法を提供する。
厚さ1μm以下の膜の薄膜付着強度を評価できる。また、付着損傷を高感度かつより客観的に検出できる。さらに、光学用薄膜、記録媒質薄膜、IC配線薄膜、保護膜など膜の薄膜付着強度を評価できる。また、有機膜を含む多層膜構造を表面から順番に削り取りながら、各層の力学特性を評価できる。
用途利用分野 マイクロスクラッチ試験機、薄膜付着強度測定装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 馬場 茂, . マイクロスクラッチ試験機を使用した薄膜付着強度測定方法. 特開2000-074819. 2000-03-14
  • G01N  19/04     
  • G01N   3/56     

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