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金属配線の信頼性評価装置及び方法、並びに金属配線の信頼性評価のためのプログラムを格納した記録媒体

シーズコード S130009565
掲載日 2013年6月5日
研究者
  • 笹川 和彦
技術名称 金属配線の信頼性評価装置及び方法、並びに金属配線の信頼性評価のためのプログラムを格納した記録媒体
技術概要 多結晶配線を要素分割して、数値解折手法により、電流密度および温度分布を求め、平均結晶粒界径の√ ̄3/6倍の長さを持つ3本の結晶粒界(I,II,III)で構成される三重点を内部に一つだけ有する4角形要素による結晶粒界構造のモデルの、結晶粒界Iとx軸とのなす角θあたりの原子流束の発散式AFDgbθを求める。次いで多結晶配線における原子流束発散(AFDgen)の式を予め導出し、導出した原子流束発散(AFDgen)の式を用い、前記電流密度および温度分布と配線材料の物性定数とにより、前記分割した各要素の原子流束発散を計算する。更に計算した原子流束発散から、各要素の体積減少を求め、各要素の厚さの変化を求めるとともに、各動作を繰り返すことにより、厚さを貫通する要素が配線幅を占める状態、或いは厚さを貫通する要素または温度が材料の融点を超える要素が配線幅を占める状態となるまで処理を行い、配線寿命および断線箇所を予測する。
画像

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研究分野
  • 金属の格子欠陥
展開可能なシーズ 多結晶配線を要素分割して、数値解折手法により、多結晶配線のエレクトロマイグレーション(EM)損傷支配パラメータである原子流束発散(AFDgen)により、ボイド或いはヒロック形成といったEM損傷および同損傷による配線の断線故障に関する予測を行うことである。
本発明のシミュレーションにより、金属配線の寿命および故障箇所の的確な予測を行うことができる。
用途利用分野 半導体デバイス、IC
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人弘前大学, . 笹川 和彦, . 金属配線の信頼性評価装置及び方法、並びに金属配線の信頼性評価のためのプログラムを格納した記録媒体. 特開2000-306969. 2000-11-02
  • H01L  21/3205   
  • H01L  23/52     
  • H01L  21/66     

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