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薄膜触覚センサ

シーズコード S130009620
掲載日 2013年6月5日
研究者
  • 丹羽 英二
  • 佐々木 祥弘
  • 金子 秀夫
  • 増本 剛
技術名称 薄膜触覚センサ
技術概要 導電性基板上に形成された絶縁膜又は絶縁性基板上に、原子量比にて鉄10~70%及び残部パラジウムと少量の不純物からなる温度検知材料薄膜と、原子量比にて窒素0~40%及び残部クロムと少量の不純物からなり、その結晶構造がbcc構造のみからなるかもしくはbcc構造とA15型構造の両者からなる歪検知材料薄膜とを配列成膜するか、あるいは中間に絶縁膜を介して積層成膜してなり、温度及び接触圧を同時に検出する複合素子を薄膜触覚センサに使用するものである。義手・義足用薄膜触覚センサは、上記複合素子を含んでなり、温度及び接触圧力を同時に検出するものである。ロボット又はマニピュレータ用薄膜触覚センサは、上記複合素子を含んでなり、温度及び接触圧力を同時に検知するものである。また、上記複合素子を二個以上単一の基板上に形成してなり、一次元又は二次元の温度分布及び接触圧力分布を同時に検出するものである。
画像

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研究分野
  • ロボットの設計・製造・構造要素
展開可能なシーズ 手や足の機能を失うか又は制限されている人を補助するために用いられる義手・義足において、又は医療、介護、福祉、産業機械、検査・探査、研究、趣味・娯楽及び遊具・玩具等に用いるロボット・マニピュレータにおいて、又はカテーテル及び内視鏡等の体内挿入型医療器具において、又は欠損した生物の皮膚等に代替して用いる人工皮膚において、人間の手足及び皮膚と同様、温度及び接触圧力を同時に精度良く検出可能なセンサを提供する。
従来の技術では補償回路なしには実現できなかった高感度・高安定な温度及び歪の同時検出を、補償回路なしで可能とする効果がある。
用途利用分野 触覚センサ、義手・義足用薄膜触覚センサ、ロボット・マニピュレータ用薄膜触覚センサ、体内挿入型医療器具用薄膜触覚センサ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 公益財団法人電磁材料研究所, 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 丹羽 英二, 佐々木 祥弘, 金子 秀夫, 増本 剛, . 薄膜触覚センサ. 特開2002-048607. 2002-02-15
  • G01D  21/02     
  • B81B   3/00     
  • G01L   1/16     
  • H01L  29/84     
  • G01D   3/028    

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