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フレネルゾーンプレート用多層膜の製造方法

シーズコード S130009637
掲載日 2013年6月5日
研究者
  • 田村 繁治
  • 安本 正人
  • 上條 長生
  • 鈴木 芳生
  • 淡路 晃弘
技術名称 フレネルゾーンプレート用多層膜の製造方法
技術概要 本発明のフレネルゾーンプレート用多層膜の製造方法は、2以上の蒸着源を用いて蒸着を行って細線状基板上に多層薄膜を形成し、槽内では蒸着源と細線状基板との間に斜入射蒸着成分および回り込み蒸着成分の飛来を軽減するスリットを設ける。槽内に膜厚モニターを設けて膜厚を制御する。それぞれの蒸着源と細線状基板との間にシャッターを設けて、使用していない蒸着源のシャッターは閉じておく。本装置では細線状基板を回転させる手段とスリットを回転させる手段を設ける。
画像

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研究分野
  • 光学器械要素とその材料
展開可能なシーズ 半導体の微小回路素子の分析・評価、微小単結晶や微小多結晶でしか得られない新物質の分析・評価など微小領域の測定方法の開発には、硬X線のマイクロビーム化の開発が必須である。空間分解能、集光効率などに優れた集光素子を開発するために、界面乱れが少ないフレネルゾーンプレート用多層膜の製造方法および製造装置を提供する。
本発明では斜入射蒸着成分および回り込み蒸着成分による蒸着を抑制できるので、界面の乱れの少ない多層膜が得られる。この多層膜を加工したフレネルゾーンプレートは、高分解能を有するので、硬X線のマイクロビーム化に好適である。本発明の装置は、既存の蒸着装置の所定の位置にスリットを設けることで製造できるので、低コストで製造できる。
用途利用分野 フレネルゾーンプレート用多層膜製造装置、X線集光レンズ、集光素子、集光レンズ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人産業技術総合研究所, 公益財団法人高輝度光科学研究センター, . 田村 繁治, 安本 正人, 上條 長生, 鈴木 芳生, 淡路 晃弘, . フレネルゾーンプレート用多層膜の製造方法. 特開2002-196122. 2002-07-10
  • G02B   5/18     
  • C23C  14/24     
  • G02B   3/08     
  • G02B  13/18     

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