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変位センサとその製造方法および位置決めステージ

シーズコード S130009717
掲載日 2013年6月5日
研究者
  • 宗片 睦夫
  • 樋口 俊郎
  • 古田 淳
技術名称 変位センサとその製造方法および位置決めステージ
技術概要 矩形の絶縁基板11の一方の表面の所定位置に電極14a~14dが設けられた歪みゲージ10と、絶縁基板11をその長手方向の両端で支持する支持部材12と、絶縁基板のほぼ中央部に固着され、支持部材との間で相対的な位置の変化が生じた際に絶縁基板を歪ませるヘッド部材13と、を具備する。電極は、薄膜形成され、支持部材とヘッド部材との間での相対的な位置の変化によって絶縁基板に歪みが生じた際に、絶縁基板において正の歪みが生じる2箇所の部位と、負の歪みが生じる2箇所の部位にそれぞれ設ける。絶縁基板には電極をブリッジ接続するための接続用導体が形成され、かつ、接続用導体と導通して外部の入出力回路との導通を行うブリッジ入力用ターミナルおよびブリッジ出力用ターミナルが絶縁基板の長手方向をほぼ4等分する位置に設ける。電極14a~14dのパターンは簡単な折り返しパターンであり、勿論、このようなパターンでもトリミングによるゲージ抵抗の調整を行うことができるが、より好ましくは電極のパターンを梯子状パターン電極と、ブロック状パターン電極から構成することで、ゲージ抵抗の調整をより容易かつ精密に行うことが可能となる。
画像

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研究分野
  • 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
  • 固体デバイス製造技術一般
展開可能なシーズ 温度ドリフトや経時劣化の少ない変位センサとその製造方法を提供する。また検出感度のばらつきを抑えた変位センサとその製造方法を提供する。さらにブリッジ出力電圧の大きい変位センサとその製造方法を提供する。
歪みゲージにおけるゲージ抵抗の調整を容易に行うことができ、変位センサ毎の感度のばらつきを低減することができる。また、位置決めステージにおいては、測定精度に優れ、測定感度の経時変化が少ない変位センサを備えていることから、正確な位置決めを行うことが可能である。
用途利用分野 変位センサ、位置決めステージ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, 株式会社ナノコントロール, . 宗片 睦夫, 樋口 俊郎, 古田 淳, . 変位センサとその製造方法および位置決めステージ. 特開2003-139504. 2003-05-14
  • G01B   7/00     
  • G01L   1/22     

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