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検出器一体型の軸受機構およびこれを備えたアクチュエータ

シーズコード S130009758
掲載日 2013年6月5日
研究者
  • 森 英季
技術名称 検出器一体型の軸受機構およびこれを備えたアクチュエータ
技術概要 検出器一体型の軸受機構は、軸受部と、この軸受部により移動自在に支持された可動部材と、この可動部材に直接作り込まれた被検出部と、被検出部に対向して設けられ、被検出部に基づき上記可動部材の移動量を測定する検出器と、を備える。すなわち、軸受機構12は、軸受部16と、この軸受部により移動自在に支持された可動部材18とを備え、この可動部材には、被測定部26が直接作り込まれている。被検出部に対向して設けられ検出器28が設けられ、被検出部に基づき可動部材の移動量を測定する。このように構成された検出器一体型の軸受機構およびアクチュエータにより、軸受機構の構成部品である可動部材に被検出部を直接作り込み、検出器の被検出部そのものを軸受機構の構成部品として機能させる。これにより、検出器の被検出部と軸受機構の可動部材とを別部材で構成した場合のような、両部材間の熱膨張係数の相違から生じる位置誤差等を無くし、高精度な位置検出が可能となる。
画像

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研究分野
  • ロボットの設計・製造・構造要素
展開可能なシーズ 直動型および回転型のいずれの形式のモータを用いた工作機械や精密測定器においても、熱膨張やロストモーション、あるいは、被測定部の移動中心と測定位置との位置ずれ等に起因して、より高精度な位置測定または変位測定が困難な状況であり、その結果、移動テーブルやステージ等の可動部を一層高い精度の位置決めすることが困難となっている。これに対し、可動部材の移動量を高い精度で測定することが可能な検出器一体型の軸受機構およびこれを備えたアクチュエータを提供することを目的とする。
この発明によれば、可動部材の移動量を高い精度で測定することが可能な検出器一体型の軸受機構およびこれを備えたアクチュエータを提供し、より高精度な機構系を実現することができる。
用途利用分野 アクチュエータ、工作機械
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人科学技術振興機構, . 森 英季, . 検出器一体型の軸受機構およびこれを備えたアクチュエータ. 特開2003-301855. 2003-10-24
  • F16C  41/00     
  • F16C  29/02     
  • G01B  21/00     

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