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気体センシングシステムとこれに用いる温度センサ

シーズコード S130009830
掲載日 2013年6月5日
研究者
  • 木村 光照
技術名称 気体センシングシステムとこれに用いる温度センサ
技術概要 気体センシングシステムは、基板1から熱分離した一続きの薄膜4に、少なくとも1個のヒータ6と該ヒータ6の場所Aの温度Taを検出する温度センサTSaと、熱抵抗を有するようにヒータ6から距離を隔てた場所Bに配置されてあり、その場所Bの温度Tbを検出する温度センサTSbとを備え、場所Aの温度Taもしくは場所Bの温度Tbが一定値になるようにヒータ6の温度を制御してあり、薄膜4に接する周囲気体への熱伝導の変化により、場所Aと場所Bに温度差が生じるように構成し、温度センサTSaと温度センサTSbとの出力と、該出力による場所Aと場所Bの温度差情報と、周囲気体の温度Tcを検出する温度センサTScからの出力とを利用して周囲気体の絶対湿度、混合気体の特定ガスの濃度、流速、真空度などの物理量を計測するものであって、周囲気体の温度が、温度Tc以上の所定の温度Tlと、この温度Tlを越えた所定の温度Thとになった時、周囲気体の熱伝導率の差が、周囲気体中の被検出気体の含有量に直線関係であることを利用するものである。
画像

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研究分野
  • 大気質調査測定一般
展開可能なシーズ 200℃以上の周囲温度でも絶対湿度が簡便に計測できる消費電力が小さく、高速応答で、高感度の絶対湿度センサとしての気体センシングシステムを提供し、更に、気体成分としての水蒸気ばかりでなく、他の多くの気体の成分検出まで拡張した気体センシングシステムを提供し、触媒反応熱を利用したガスセンサとしての気体センシングシステムを提供し、周囲気体への熱放散を利用する本熱伝導式センサの性質を利用してフローセンサや真空センサへの応用を含めた気体センシングシステムを提供し、さらに、これらのセンサに適する構造の温度センサを提供する。
基板から熱分離した薄膜に薄膜のヒータと温度センサが集積化されているので、熱容量が小さくなり、低消費電力で、かつその温度制御が高速かつ高精度で達成でき、さらに、乾電池駆動ができるので携帯用となりえるという有利な効果が得られる。
用途利用分野 気体センシングシステム、温度センサ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 木村 光照, . 気体センシングシステムとこれに用いる温度センサ. 特開2004-286492. 2004-10-14
  • G01N  25/18     
  • G01F   1/68     
  • G01K   7/01     
  • G01K  13/02     
  • G01N  25/30     
  • G01N  27/18     

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