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加工モニタ付きパルスレーザ加工装置

シーズコード S130009837
掲載日 2013年6月5日
研究者
  • 神谷 眞好
  • 青島 紳一郎
技術名称 加工モニタ付きパルスレーザ加工装置
技術概要 加工モニタ付きパルスレーザ加工装置1では、レーザ発振器3が出力するパルスレーザ光で被加工物2を加工する。光アイソレータ4は、レーザ発振器3への戻り光を低減し、ハーフミラー5は、レーザ発振器3からのパルスレーザ光を照射光と参照光とに分岐する。アクロマティックレンズ6は、照射光を被加工物2に集光して加工精度を向上させる。加工モニタ付きパルスレーザ加工装置1は、ハーフミラー5で反射により分岐された参照光を反射する反射ミラー7を備える。反射ミラー7は、反射ミラー7を参照光の光軸8と平行に移動させる移動ステージ9に設ける。またハーフミラー5と反射ミラー7との間には、ハーフミラー5で反射された参照光を遮断する電磁シャッタ10を配置する。更に加工モニタ付きパルスレーザ加工装置1は、反射ミラー7で反射されてハーフミラー5を透過する参照光と、被加工物2で反射されハーフミラー5で反射された照射光との干渉光を分光するマルチチャネル分光器11を備える。マルチチャネル分光器11は、被加工物2の動きに追従することができ、被加工物2の加工状態をリアルタイムにモニタすることができる。他にモニタ方法の発明あり。
画像

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thum_2003-104253.GIF
研究分野
  • 特殊加工
展開可能なシーズ レーザ加工方法においては、物質を精密にかつ効率よくレーザ加工するために、加工中における物質の状態変化(形状変化や物性変化)を連続的にモニタする技術が求められる。モニタ用レーザ光の反射光を分光し、その分光スペクトルに基づいて加工用レーザ光の波長等を制御しても、加工精度を十分に向上させることができないという問題があった。被加工物の加工中における加工状態を的確にモニタすることができる加工モニタ付きパルスレーザ加工装置、加工状態のモニタ方法及びこれを用いたレーザ加工方法を提供する。
これにより、被加工物の所定部位において加工が進行しても、パルスレーザ光による加工部位とモニタ部位とを常に一致させることができるため、被加工物の加工状態を的確にモニタすることができる。
用途利用分野 パルスレーザ加工装置、マルチチャネル分光器、加工モニタ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人科学技術振興機構, 静岡県, 浜松ホトニクス株式会社, . 神谷 眞好, 青島 紳一郎, . 加工モニタ付きパルスレーザ加工装置. 特開2004-306100. 2004-11-04
  • B23K  26/00     
  • B23K  26/03     
  • G02B  27/00     

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