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マスキング機構及びそれを備えた成膜装置

シーズコード S130009924
掲載日 2013年6月5日
研究者
  • 鯉沼 秀臣
  • 松本 祐司
  • 伊高 健治
  • 片山 正士
技術名称 マスキング機構及びそれを備えた成膜装置
技術概要 マスキング機構の駆動軸12は、真空フランジ11の軸受部を介して、矢印Aのように回転可能に、かつ矢印Bのように軸方向に移動可能に気密的に支持される。真空フランジ11の外側に突出した駆動軸12の外端が駆動源に連結されて、駆動軸12が回転駆動され、また軸方向に往復移動される。マスク部13は、駆動軸12に垂直に固定保持されたマスク支持円板の外周縁に沿って、軸方向内側に延びるようにマスク支持円板に取り付けられた複数個のマスク支持板と、各マスク支持板に取り付けられたマスクとを含む。各マスク支持板は、マスク支持円板の外周縁に沿って多角形形状で配設され、全体が多角柱状に構成される。この駆動軸を回転駆動してマスク部全体を駆動軸の周りに回転させると、各マスク支持板に取り付けられたマスクのうち、選択した一つのマスクが駆動軸の回転駆動によって所定位置に来る。また、駆動軸が軸方向に直線駆動されると、マスク部も共に移動し、所定位置のマスク支持板に取り付けられたマスク孔がマスキングのために所定速度で軸方向に移動するため、基板上に成膜されるターゲット材料の薄膜は、軸方向に対応してある方向に濃度勾配を有する。
画像

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thum_2004-251151.GIF
研究分野
  • 薄膜成長技術・装置
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 半導体集積回路
展開可能なシーズ 簡単な構成により、容易に小型化に対応することができるようにした、マスキング機構及びそれを備えた成膜装置を提供する。
駆動軸の周りに多角形状にマスクを配置することにより、駆動軸の回転によって、所望のマスクを選択して所定位置に持ち来たすことができると共に、駆動軸を軸方向に移動させることによって、選択したマスクを軸方向に移動させて、マスキングを行なうことができる。したがって、各マスクが多角柱状に配置されていることから、マスク部に多数のマスクが装着されると共に、全体として比較的小型に構成される。また、マスキングの際には、選択されたマスクが駆動軸の軸方向に沿って移動して、直線的なマスク孔の移動によりマスキングされるので、基板上に成膜された薄膜の膜厚傾斜の線形性が良好に保持される。
用途利用分野 マスキング機構、成膜装置、コンビナトリアル成膜装置、コンビナトリアルマスク、三元組成傾斜膜、PLD成膜装置、CVD成膜装置、スパッタ成膜装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人科学技術振興機構, . 鯉沼 秀臣, 松本 祐司, 伊高 健治, 片山 正士, . マスキング機構及びそれを備えた成膜装置. 特開2006-063433. 2006-03-09
  • C23C  14/04     
  • C23C  14/28     

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