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気相ダイヤモンド膜のコーティング方法及び装置

シーズコード S130010029
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 阿部 利彦
  • 高木 敏行
  • 内一 哲哉
  • 三木 寛之
  • セルギィ・コノブリュック
技術名称 気相ダイヤモンド膜のコーティング方法及び装置
技術概要 図1は、上部電極に加熱用フィラメントにより下部電極を吊持し、加熱用フィラメントに所定の張りを持たせ熱フィラメント法によってダイヤモンド膜を前記試料にコーティングする気相ダイヤモンド膜のコーティング装置の一例を示す図である。すなわち、熱フィラメント法による気相ダイヤモンド膜のコーティング方法において、コーティング装置の内部に、加熱用フィラメント1、加熱用フィラメント1の近傍に配置した被コーティング試料4及びフィラメント加熱用の上部電極と下部電極を配置し、コーティング装置本体に上部電極を固定すると共に、該上部電極にフィラメント1の上端部を固定し、フィラメント1の下端部を移動自在な下部電極に固定して、下部電極がフィラメント1により吊持された状態とし、下部電極の重量及びフィラメント1の自重によりフィラメント1を緊張させると共に、緊張したフィラメント1を通電加熱し、かつダイヤモンド原料となるガスを供給して、ダイヤモンド膜を試料4に気相ダイヤモンド膜をコーティングする。
画像

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研究分野
  • 化学装置一般
展開可能なシーズ 3次元形状試料に対して、均一に気相合成ダイヤモンド膜をコーティングすることができる、熱フィラメント法による気相ダイヤモンド膜のコーティング方法及び装置を提供する。
熱フィラメントによるダイヤモンド膜形成方法及び装置は、現在用いられている一般の熱フィラメントによるダイヤモンド膜形成装置よりも、ダイヤモンド膜のコーティング試料の形状に対して、汎用性と柔軟性に富むという優れた効果を有する。複数の加熱用フィラメントを使用した場合、その中央に被コーティング試料を配置することで、回転機構なしに3次元形状の被コーティング試料にダイヤモンド膜をコーティングすることができ、試料のサイズに合せてフィラメントの距離、間隔、本数、太さを選ぶことによって、試料の温度を調整できる。コーティング中にフィラメントの変形を防止し、均一なダイヤモンド膜のコーティングが達成することができる。上下の電極にフィラメントを配列した後に、上下電極を滑らせてわずかに引き離すと、電極が滑って各フィラメントの長さを同じに揃えることができる。
用途利用分野 気相ダイヤモンド膜のコーティング装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人東北大学, . 阿部 利彦, 高木 敏行, 内一 哲哉, 三木 寛之, セルギィ・コノブリュック, . 気相ダイヤモンド膜のコーティング方法及び装置. 特開2007-230799. 2007-09-13
  • C30B  29/04     
  • C23C  16/27     

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