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暗視野顕微鏡及びその調整方法

シーズコード S130010041
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 西坂 崇之
  • 安田 涼平
技術名称 暗視野顕微鏡及びその調整方法
技術概要 この暗視野顕微鏡は、照明光10を発する光源と、その光源からの照明光10を集束させて観察試料21を照明する集光側コンデンサレンズ25を含む集光光学系と、観察試料21からの散乱光12を受光してその拡大像を結像する対物レンズ22を含む結像光学系とを備える。集光光学系では、照明光10を観察試料面に対して垂直に入射すると共に、集光側コンデンサレンズ25が長焦点距離のレンズであり、開口数の小さい領域でのみ照明光10をフローセル20内の観察試料21に照射する構成とする。結像光学系では、その後ろ焦点面の結像中心部に、照明光11を全て常時遮断する遮光部材23が備わる構成とする。これにより、絞りが不要であると共に観察試料21と遮光部材23との間に位置する対物レンズ22から射出された散乱光12のみを撮像面に集光させて、観察試料21の暗視野像を得ることができる。コンデンサレンズ25の開口数が高くなれば、照明光10の光量が増えるので、遮光するべき開口数も増加するが、試料21を照明する光の量も増加する。遮光部材23として遮光板を使用する場合は、設置する遮光板を、様々な大きさのものに取り替え自在に構成してもよい。
画像

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研究分野
  • 光学的測定とその装置一般
  • 光学顕微鏡,望遠鏡
  • 固体デバイス計測・試験・信頼性
展開可能なシーズ 対物レンズ内の絞りが必要なく、また開口数の低い長焦点のコンデンサレンズでも照明できる暗視野顕微鏡と、その光軸の有効な調整方法を提供する。
この暗視野顕微鏡によると、結像光学系における後ろ焦点面の結像中心部に遮光部材が備わるので、対物レンズに絞りが必要なくなり、また開口数の低い長焦点のコンデンサレンズで照明可能である。そのため、観察試料部位に空間が確保され、実験観察の応用範囲が広がる。また、この暗視野顕微鏡の調整方法によると、通常の安価な光学系や顕微鏡やカメラ等のシステムを生かしたまま、精確な光軸調整が可能となる。
用途利用分野 暗視野顕微鏡、顕微鏡、磁気ピンセット、溶液交換システム、ICパターン検査システム
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, 学校法人 学習院, . 西坂 崇之, 安田 涼平, . 暗視野顕微鏡及びその調整方法. 特開2007-316221. 2007-12-06
  • G02B  21/00     

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