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マイクロチャネルプレート、ガス比例計数管、及び撮像装置

シーズコード S130010054
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 門叶 冬樹
  • 櫻井 敬久
  • 郡司 修一
  • 住吉 孝行
  • 岡田 晃行
  • 遠藤 哲朗
  • 藤田 良雄
技術名称 マイクロチャネルプレート、ガス比例計数管、及び撮像装置
技術概要 このマイクロチャネルプレート(MCP)1は、複数のチャネル13が設けられ且つ絶縁性を有する多孔プレート11を備えており、主として不活性ガスを含むガス雰囲気中に配置されて比例計数管を構成する。多孔プレートは、少なくとも複数のチャネルの内壁上に設けられた光電変換部(電極1a)を有する。好ましくは、光電変換部が、アルカリ金属原子を含み、Lcp×0.1<Laで表される関係を満たす。ここで、Lcp:チャネルの軸方向長さ、La:チャネルの軸方向に沿う光電変換部の長さである。このように構成されたMCPは、光電変換部(電極1a)、電極1b間、すなわち各チャネルの両端に電圧が印加されると、チャネル内に延在軸G方向の電界が発生する。このとき、一方端からチャネル内に電極1aでの光電効果によって生じた電子(一次電子)が入射すると、入射電子はチャネル内に形成された強電界からエネルギーを付与され、チャネル内のガス原子との電離・励起衝突が多重(雪崩式)に繰り返されて、電子及び光(励起発光)が指数関数的に激増することにより電子・光増殖が行われる。
画像

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研究分野
  • 光電変換管
展開可能なシーズ 高輝度と高解像度の両方を同時に達成可能にする優れた特性を有するマイクロチャネルプレート、ガス比例計数管、及び撮像装置を提供する。
マイクロチャネルプレートに形成された貫通孔の開口端の周囲に設けられたアルカリ金属原子を含む光電変換部により、MCPの外部で生じた電子雲が貫通孔内に入射することが抑制される一方で、光電変換部において高効率で生じた一次電子が、貫通孔内の電子・光増殖に実質的に寄与するので、高輝度と高解像度の両方を同時に達成できる。
用途利用分野 マイクロチャネルプレート、ガス比例計数管、撮像装置、二次イオン質量分析計、走査型電子顕微鏡
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, 浜松ホトニクス株式会社, . 門叶 冬樹, 櫻井 敬久, 郡司 修一, 住吉 孝行, 岡田 晃行, 遠藤 哲朗, 藤田 良雄, . マイクロチャネルプレート、ガス比例計数管、及び撮像装置. 特開2007-059391. 2007-03-08
  • H01J  47/06     
  • H01J  43/24     
  • H01J  31/50     

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