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走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー及びそれを具備する走査型プローブ顕微鏡

シーズコード S130010153
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 丸山 健一
  • 鈴木 孝治
  • 伊與木 誠人
技術名称 走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー及びそれを具備する走査型プローブ顕微鏡
技術概要 このカンチレバーのプローブは、基材上に形成された導体層4上に積層された絶縁層5を具備する。(a)は基本形状を有するカンチレバーを模式的に示しており、(b)は、集束イオンビームプローブ先端に開口部を設けた場合、(c)は、斜め蒸着法によりプローブ先端に開口部を設けた場合である。通常、導体層4及び絶縁層5は、治具7よりも先端側に形成され、治具よりも基端側はコア2、クラッド3及び光ファイバーの樹脂被膜の3層構造から成る。導体層4は、金属やカーボン等の導電性材料の層であり、好ましくは、その最表面が化学的安定性に優れ、導電性の高い金、金合金、白金又はグラファイトのようなカーボンから成る。プローブ先端部分での導体層の厚さは、特に限定されないが、10~400nm程度が好ましく、さらに好ましくは15~300nm程度である。絶縁層5を形成する材料は、絶縁材料であれば特に限定されないが、絶縁層5は、電着により形成することが好ましいので、絶縁性の塗膜を形成する電着塗料で形成することが好ましい。
画像

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研究分野
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
展開可能なシーズ 原子間力顕微鏡と近接場光学顕微鏡を兼備した顕微鏡で電気化学測定も行うことができる顕微鏡及びそのためのカンチレバー及びプローブを提供する。
原子間力顕微鏡、近接場光学顕微鏡及び電気化学顕微鏡の機能を兼備した走査型プローブ顕微鏡及びそれを可能にした、走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーが初めて提供した。この走査型プローブ顕微鏡は、原子間力顕微鏡、近接場光学顕微鏡及び電気化学顕微鏡の機能を兼備しているので、例えば、細胞観察において、細胞の表面形状、蛍光観察及び各種化学反応の電気化学的観察を同時に行なうことができ、生理学の研究等に威力を発揮する。
用途利用分野 走査型プローブ顕微鏡、原子間力顕微鏡、近接場光顕微鏡、電気化学顕微鏡
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, 株式会社日立ハイテクサイエンス, . 丸山 健一, 鈴木 孝治, 伊與木 誠人, . 走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー及びそれを具備する走査型プローブ顕微鏡. . 2008-09-11
  • G01Q  60/22     
  • G01Q  60/38     
  • G01Q  60/60     

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