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走査プローブ顕微鏡装置

シーズコード S130010245
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 小林 大
  • 西田 周平
  • 川勝 英樹
技術名称 走査プローブ顕微鏡装置
技術概要 試料に、カンチレバー4である機械的振動子を作用させて試料の撮像を行う走査プローブ顕微鏡装置は、第1の制御器8と、これに接続さる、試料のXYZスキャナ3及びXY走査画像化システム11、信号発生器9、信号発生器9に接続する振動励起手段10、振動励起手段10からの出力信号により強制振動する機械的振動子、機械的振動子の振動の検出手段5、振動検出手段10に接続する位相差検出手段6、位相差検出手段6からの位相差信号を入力し、第1の制御器8と信号発生器9に周波数制御信号を出力する第2の制御器7を備え、信号発生器9から機械的振動子の共振周波数付近の周波数の駆動信号を発生させ、それを振動励起手段10に入力し、機械的振動子を強制振動させ、位相差検出手段6からの位相差を一定の値に維持するように制御して試料の撮像を行う。走査プローブ顕微鏡装置は、機械的振動子の共振周波数を計測し、試料と機械的振動子との相互作用力像を取得する。
画像

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研究分野
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
展開可能なシーズ 走査プローブ顕微鏡としての原子間力顕微鏡の撮像モードの一つであるFM(周波数変調)モードでは、原子間力顕微鏡装置のカンチレバーに自励振動を発生させて、サンプルの凹凸を画像化する。FMモードの走査プローブ顕微鏡のカンチレバーが、機械的Q値が低い環境においても安定に振動し、かつ、カンチレバーとサンプルの相互作用に対して高い感度を持つ走査プローブ顕微鏡装置を提供する。
走査プローブ顕微鏡装置は、振幅が安定した信号発生器の信号によってカンチレバーに他励振動を 誘起するので、カンチレバーのQ値が低くても振動の振幅を安定させることができる。
用途利用分野 走査プローブ顕微鏡装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 小林 大, 西田 周平, 川勝 英樹, . 走査プローブ顕微鏡装置. . 2009-12-17
  • G01Q  60/24     

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