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磁場中有機単結晶薄膜作成法及び作成装置

シーズコード S130010300
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 吉本 則之
  • 荒木 俊行
  • 藤代 博之
  • 小川 智
技術名称 磁場中有機単結晶薄膜作成法及び作成装置
技術概要 溶媒中に有機材料を有する溶液の液滴を基板上に設け、液滴の一端を薄くし他端を厚くして、一端側の溶媒を蒸発させることにより結晶を析出させる。さらに、薄い部分を他端に移動させることにより結晶を順次析出させることを特徴とする有機単結晶薄膜の作成法である。液滴は反磁性とし、一端から強磁場を付加する。溶媒中に有機材料を有する溶液の液滴を基板上に設け、液滴の一端から反対端に向かい所定の速度で磁場を移動させて液滴の一端の厚みを減少させて、結晶を一端から順次析出させる。
画像

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研究分野
  • 薄膜成長技術・装置
  • 固体デバイス一般
展開可能なシーズ 高価なクリンルームと高価な真空プロセス装置を使うことなく低コストで製造でき、廃棄部分も少なく環境性に優れ、かつ結晶品質が高いことによる、半導体性能の高い有機単結晶薄膜作成法を提供する。
安価な大気中での製膜を可能とし、溶液による欠陥や不純物の取り込を軽減できる。
用途利用分野 有機単結晶薄膜、有機トランジスタ、有機発光素子、液晶表示パネル、有機EI表示パネル
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人岩手大学, . 吉本 則之, 荒木 俊行, 藤代 博之, 小川 智, . 磁場中有機単結晶薄膜作成法及び作成装置. 特開2011-181698. 2011-09-15
  • H01L  21/368    
  • H01L  29/786    
  • H01L  21/336    
  • H01L  51/40     
  • H01L  51/05     
  • H01L  51/50     

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