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窒化アルミニウム製造方法

シーズコード S130010331
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 寒川 義裕
  • 屋山 巴
技術名称 窒化アルミニウム製造方法
技術概要 窒化アルミニウムの結晶を液相成長により生成する窒化アルミニウム製造方法である。窒化アルミニウム製造方法は、常圧窒素雰囲気下で、窒化リチウムおよびアルミニウムから成る原料混合物を、図1(a)に示す窒化リチウムおよびアルミニウムに関する擬二元系状態図における斜線領域内の組成および温度で、少なくとも2時間保持する工程を含む。温度は、温度が1000℃以下であり、原料混合物におけるアルミニウムの原料モル組成比[原料アルミニウム/(原料アルミニウム+原料窒化リチウム)]が0.9~1未満の範囲、であることが好ましい。原料混合物を窒化アルミニウムを含む基板上に戴置して温度を保持する。基板は、AlN/SiC基板であることが好ましい。
画像

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研究分野
  • 無機化合物の薄膜
展開可能なシーズ 窒化物半導体(III-V 族共有結合を有する半導体材料のうち、V 族元素が窒素である半導体を指す)を発光層とする深紫外領域のLED開発が注目されており、殺菌・医療・高密度光記録・固体照明などの分野への応用が期待されている。そこで、常圧窒素環境下で新規の薄膜成長技術を確立し、この技術に基づいて高純度な窒化アルミニウム材料を製造する新規の製造方法を提供する。
この製造方法により製造された窒化アルミニウム材料は、電気電子材料である自立基板の他にも、その高い熱伝導率および電気絶縁性を活かしたヒートシンク等の広汎な用途を有する。
用途利用分野 窒化アルミニウム、自立基板、ヒートシンク
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 寒川 義裕, 屋山 巴, . 窒化アルミニウム製造方法. 特開2012-012266. 2012-01-19
  • C30B  29/38     
  • C30B  19/02     

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