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静電容量型圧力センサ、圧力測定装置、及び、静電容量型圧力センサの製造方法

シーズコード S130010344
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • ハオ シュウシュン
  • 蒋 永剛
  • 前中 一介
  • 藤田 孝之
  • 樋口 行平
技術名称 静電容量型圧力センサ、圧力測定装置、及び、静電容量型圧力センサの製造方法
技術概要 図1に示すように、静電容量型圧力センサ100は、基板1と、絶縁体層2と、バリアメタル層3と、第1の電極部4と、バリアメタル層5と、バリアメタル層6と、第2の電極部7と、ボンディング層8と、バリアメタル層9と、ダイアフラム部10と、温度センサ用電極部20,21と、温度センサ部22と、を備える。基板1及びダイアフラム部10はケイ素などの半導体からなり、絶縁体層2は、二酸化ケイ素などの絶縁体である。ダイアフラム部10は圧力に応じて変形可能であり、又ボンディング層8の一端部を塞ぐ円形状の蓋部材であって、基板1、絶縁体層2、バリアメタル層5、ボンディング層8、バリアメタル層9と共に、密閉空間11を形成する。静電容量型圧力センサ100の動作は、ダイアフラム部10側から気圧による圧力が印加された場合、ダイアフラム部10が、該圧力に応じて変形し、それによるダイアフラム部10と第1の電極部4及び第2の電極部7との間の静電容量変化を検出し、圧力の測定を行う。同時に、温度センサ部22によって気温を測定する。
画像

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研究分野
  • 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器
展開可能なシーズ 圧力だけでなく温度をも検出できる静電容量型圧力センサを提供する。
この静電容量型圧力センサの構成によれば、圧力だけでなく温度も同時に検出でき、又バリアメタルには、緻密な膜形成が可能で、配線材料とシリコン基板との反応に対するバリア効果を有し、金属及び絶縁膜との接着性に優れた材料を用いるため、電気的な接続信頼性を向上させることができ、特にボンディング層が金-金接合である場合、バリアメタル層の効果を享受することができ、更に高い接続信頼性を有したものとなる。
用途利用分野 温度センサ付静電容量型圧力センサ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, 公立大学法人兵庫県立大学, . ハオ シュウシュン, 蒋 永剛, 前中 一介, 藤田 孝之, 樋口 行平, . 静電容量型圧力センサ、圧力測定装置、及び、静電容量型圧力センサの製造方法. 特開2012-068149. 2012-04-05
  • G01L   9/00     
  • H01L  29/84     

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