TOP > 技術シーズ検索 > 撥水性構造体およびその製造方法

撥水性構造体およびその製造方法

シーズコード S130010347
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 中村 純
  • 前中 一介
技術名称 撥水性構造体およびその製造方法
技術概要 撥水性構造体およびその製造方法に関する。微細な凸部(104)が形成された撥水領域を表面に備える撥水性構造体であって、撥水領域の面積に対する凸部(104)の頂面領域の面積の割合が液体の輸送方向に向かって高くなる撥水性構造体(2)である。液体を滴状態で輸送するには、大きな接触角を維持しつつ、輸送方向に向かって接触角を小さく変化させなければならない。したがって、上流側における撥水性能は高ければ高いほど望ましい。該凸部の少なくとも一部は、横断面最大幅が1μm未満の直柱体形であることが好ましい。1μm未満の直柱体形はシリコンからなる芯部と、芯部を覆うポリテトラフルオロエチレンからなる表層部とを備えてもよい。撥水性構造体の製造方法は、保護膜をシリコン層の表面に形成する工程と、保護膜から露出しているシリコン層の領域をエッチングすることによって凸部を形成する工程と、凸部が形成されたシリコン層を熱酸化する工程と、熱酸化によって形成された酸化膜を除去する工程と、を含む。熱酸化と酸化膜の除去とによって、細い凸部を形成できるため、撥水性構造体の撥水性能を高めることができる。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_2010-230890.gif
研究分野
  • 固体の表面構造一般
  • 液体の輸送現象一般
  • 固-液界面
展開可能なシーズ 微小空間において微量の液体を輸送する撥水性構造体を提供する。また撥水性構造体の撥水性能を高める方法を提供する。
撥水領域の面積に対する凸部の頂面領域の面積の割合に勾配を持たせることによって、その割合が高い方向へと液体を輸送することができる。微小空間において微量の液体を輸送できる安価な撥水性構造体を実現することができる。
用途利用分野 撥水性構造体、微量液体輸送構造体、シリコン、ポリテトラフルオロエチレン
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) ヤマハ株式会社, 兵庫県, 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 中村 純, 前中 一介, . 撥水性構造体およびその製造方法. 特開2012-082352. 2012-04-26
  • C09K   3/18     

PAGE TOP