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ダイナミックモードAFM装置

シーズコード S130010362
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 川勝 英樹
  • 小林 大
技術名称 ダイナミックモードAFM装置
技術概要 ダイナミックモードAFM装置において、カンチレバー2と試料1を相対的に3次元走査するスキャナと、カンチレバーの撓み振動のあるモードの共振周波数の交流信号を発生する手段8と、共振周波数でカンチレバーに撓み振動を励起する手段9と、撓み振動の周波数よりも低い第2の周波数の交流信号を発生する手段10と、第2の周波数でカンチレバーの探針-試料間距離を変調する手段11と、共振周波数の変動を検出する手段と、カンチレバーの振動を検出する手段と、共振周波数の変動を検出する手段の検出信号に含まれる探針-試料間距離の変調信号に同期した変動成分を検出する手段を備え、変動成分の強度と極性から共振周波数の探針-試料間距離に対する傾き信号7を求める。
画像

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研究分野
  • 顕微鏡法
  • 固体デバイス計測・試験・信頼性
展開可能なシーズ 探針-試料間距離を自動的に求めることができる自動制御系を構成し、高速に試料表面の原子を同定することができるダイナミックモードAFM装置を提供する。
ナノギャップデバイスを含む電子デバイス構造体等の試料に電位を付与したときに試料の近傍に形成される局所電界分布の画像を、SEM画像中に合成し多階調で可視化でき、さらにリアルタイムの変化を追跡することが可能となる。これによって、ナノ構造体や電子デバイス構造体等の試料のナノスケールでの微細または微小な構造や形状、そして元素構成等に由来する特有な局所電界分布の特徴、特性、機能とその変化をリアルタイムで把握できることから、得られた可視化情報はナノ構造体の開発、そして解析にとって極めて重要な貢献を果たすことができる。
用途利用分野 ダイナミックモードAFM装置、原子間力顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡、表面分析、ナノ加工、ナノプロセッシング、バイオ高分解能イメージング
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 川勝 英樹, 小林 大, . ダイナミックモードAFM装置. . 2011-09-15
  • G01Q  60/32     

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