TOP > 技術シーズ検索 > 窒化アルミニウム製造方法

窒化アルミニウム製造方法

シーズコード S130010382
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 寒川 義裕
技術名称 窒化アルミニウム製造方法
技術概要 窒化アルミニウム単結晶の製造方法は、種結晶の存在下に、窒化アルミニウム粉末を、窒化リチウムまたは窒化リチウムとアルミニウムの混合物とともに、常圧不活性ガス雰囲気下に加熱する工程を含む窒化アルミニウムの単結晶を製造する方法であり、加熱工程において、窒化リチウムまたは窒化リチウムとアルミニウムの混合物の組成が(液体+LiAlN)相内にあり、且つ、窒化アルミニウム粉末に窒化リチウムまたは窒化リチウムとアルミニウムの混合物を合わせた全組成が(液体+窒化アルミニウム+LiAlN)相内にあるような温度に加熱する。下から順に、種結晶、窒化リチウムとアルミニウムの混合物、窒化アルミニウム粉末を積層して加熱工程を行う。不活性ガスは、窒素ガスである。種結晶には窒化アルミニウム種結晶を用いる。加熱する温度が1050℃であり、アルミニウムを含有せず、窒化アルミニウム粉末に窒化リチウムを合わせた全組成のモル組成比(窒化リチウム/窒化アルミニウム)が2/3であることが好ましい。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_2011-017216.gif
研究分野
  • 窒素とその化合物
展開可能なシーズ 単結晶の窒化アルミニウム材料は、デバイスの実用化に要求される品質の窒化アルミニウム単結晶の製造が非常に困難であり、高品質な窒化アルミニウム単結晶の製造技術の確立が強く望まれている。そこで、液相成長により、単結晶の窒化アルミニウム材料を製造することのできる技術を提供する。
粉末材料を原料に用いるので、従来のようにガス相の窒素源を原料とする場合と比べて、結晶成長中の窒素ガスの高精度な制御が不要となる。また、1000度近傍という従来に無い低温で常圧下に結晶成長が可能となり結晶の成長速度も高めることができる。窒化リチウムまたは窒化リチウムとアルミニウムの混合物が、原料の窒化アルミニウム粉末に対して触媒-溶媒として作用することにより、窒化アルミニウムの単結晶が種結晶上で成長しやすくなり、安定的に単結晶の窒化アルミニウムを製造することができる。この窒化アルミニウム材料は、電気電子材料である自立基板[例えば、深紫外LED用基板、HEMT(高周波電子デバイス)等]や、その高い熱伝導率および電気絶縁性を活かしたヒートシンク等の広汎な用途を有する。
用途利用分野 窒化アルミニウム、深紫外LED用基板、高周波電子デバイス、ヒートシンク
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 寒川 義裕, . 窒化アルミニウム製造方法. 特開2012-158479. 2012-08-23
  • C30B  29/38     
  • C30B   9/00     

PAGE TOP