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磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法

シーズコード S130010465
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 島田 寛
  • 北上 修
  • 岡本 聡
技術名称 磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法
技術概要 Fe-9原子%Tb及びFe-33原子%Tbの合金ターゲット上に、七酸化四テルビウム(Tb4O7)(直径10ミリ)を42個載置する。基板としては、熱酸化Siウエハ(100)を使用する。この基板に60Wの高周波バイアスを印加しながら、高周波マグネトロンスパッタリングを実施し、基板上に厚さ50nmの薄膜を形成する。スパッタは、アルゴンガスを用いて行い、圧力は4mTorrに設定する。このようにして得た薄膜に対して、1×10―6Torr以下の圧力の真空中において熱処理を実施し、磁気記録媒体を作製する。熱処理温度は600℃とする。磁性微粒子中におけるTbの含有量はそれぞれ表1に示すような値を示す。各磁気記録媒体の室温に保磁力を(VSM)によって調べたところ、それぞれ表1に示すような値を示す。
画像

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研究分野
  • 電子・磁気・光学記録
展開可能なシーズ 非磁性物質からなるマトリックス中に、磁性微粒子が析出してなるグラニュラー型の磁気記録媒体であって、前記非磁性物質は、希土類酸化物、希土類窒化物、及び40希土類炭化物から選ばれる少なくとも1種であって、前記磁性微粒子は鉄(Fe)、コバルト(Co)、及びニッケル(Ni)から選ばれる少なくとも1種の元素と、希土類元素から選ばれる少なくとも1種の元素とからなることを特徴とする、磁気記録媒体とその製造技術を提供する。
非磁性物質からなるマトリックス中における磁性微粒子の粒子サイズを、10~30nm程度以下に微細化した場合においても、十分大きな磁気異方性を有するため、磁性微粒子の熱擾乱による影響は極めて少ない。したがって、安定した高密度記録が可能となり、信頼性に富むいわゆるグラニュラー型の磁気記録媒体の提供が可能となる。
用途利用分野 磁気記録媒体、磁気記録媒体製造技術
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東北大学, . 島田 寛, 北上 修, 岡本 聡, . 磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法. 特開2000-306228. 2000-11-02
  • G11B   5/65     
  • G11B   5/851    

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