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磁気記録媒体の製造方法

シーズコード S130010466
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 島田 寛
  • 北上 修
  • 岡本 聡
技術名称 磁気記録媒体の製造方法
技術概要 直径100mmのCoターゲット上にSiOチップ(直径10mm)とB2O2チップ(直径10mm)との総数が50個で一定となるようにするとともに、その内、B2O3チップの個数を5、10、15、20及び25個と変化させる。さらに5d遷移元素であるPのチップ(5mm角)を20個載置し、磁性微粒子中の含有量がX線光電子分光法による分析の結果、15±2原子%となるようにする。基板には熱酸化Si(100)ウェハを用いるこのような複合ターゲットに対して高周波マグネトロンスバッタリングを行ない、基板上に厚さ20±2nmの薄膜を形成する。試料振動型磁力計によって調べた磁気記録媒体の室温に保磁力を図に示す。
画像

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研究分野
  • 電子・磁気・光学記録
展開可能なシーズ 硼素(B)及びシリコン(Si)を含有する非磁性物質、鉄(Fe)、コバルト(C o)、及びニッケル(Ni)から選ばれる一種の元素を含有してなる蒸発源から、物理蒸着法によって、基板上に前記非磁性物質を構成する元素、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)から選ばれる元素がランダムに配列してなる薄膜を形成した後、この薄膜に対して250℃以上で熱処理を行い、非磁性物質からなるマトリックス中に、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)から選ばれる一種の元素を含む磁性微粒子を析出させることを特徴とするグラニュラー型の磁気記録媒体の製造技術を提供する。
比較的低い熱処理温度でマトリックスと磁性微粒子とが十分に分離され、高密度に記録することが可能なグラニュラー型の磁気記録媒体が得られる。
用途利用分野 グラニュラー型磁気記録媒体、グラニュラー型磁気記録媒体製造技術
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東北大学, . 島田 寛, 北上 修, 岡本 聡, . 磁気記録媒体の製造方法. 特開2000-311329. 2000-11-07
  • G11B   5/66     
  • G11B   5/84     

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