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X線回折方法および中性子線回折方法

シーズコード S130010485
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 佐伯 淳
技術名称 X線回折方法および中性子線回折方法
技術概要 本発明では、薄膜等における空間的な逆格子を見落とすことなく非破壊で測定するために、試料における逆格子点をX線回折方法により測定する際に、入射X線と回折X線のなす角度である2θ軸、入射X線と試料のなす角度であるω軸、X線の入射方向に対して垂直方向のあおり角であるψ軸ならびに試料の面内回転角であるφ*軸からなる4つの可動軸を備えたX線回折を用い、2θ軸とω軸をカップリングさせて一定の角度区間を走査し、ついでψ軸をシフトして再び2θ軸とω軸をカップリングさせながら一定の角度区間を走査する。そして、これを最大で角度90度まで繰返すことにより逆格子点を測定し、ならびにこの測定中にφ*軸を高速回転させることを特徴とする。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス計測・試験・信頼性
展開可能なシーズ 薄膜の特性向上のために配向性の制御が行なわれるが、基板の状態、膜の特性、組成、成膜条件の変動等により膜構造の乱れ、異相の出現が生じやすくなる。このような薄膜表面の特性を評価するために空間的な逆格子点を測定することが多い。従来の測定法では、基板に平行な配向面の強度が弱かったり、消滅則などで出ない相が出現した場合、その存在を見落とす可能性があり、全空間の逆格子点マップを得ることは困難である。そこで、薄膜等における空間的な逆格子を見落とすことなく非破壊で測定し得、未知相の同定や双晶の存在確認も可能としうるX線もしくは中性子線回折方法を提供することを目的とする。
薄膜等における空間的な逆格子を見落とすことなく非破壊で測定し得、未知相の固定や双晶の存在確認も可能としうるX線もしくは中性子線回折方法が提供される。その結果、結晶、薄膜試料等をバルクの状態のままで2次元マッピング測定でき、得られる逆格子を用いて、未知層の同定が可能、極点図形測定を得るための有用な情報が得られ、格子の歪み等が直接読み取れる等、結晶方位の揺らぎの立体的な解析がより容易になる。
用途利用分野 X線回折装置、中性子線回折装置、半導体検査装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人富山大学, . 佐伯 淳, . X線回折方法および中性子線回折方法. 特開2003-098124. 2003-04-03
  • G01N  23/20     
  • G01N  23/204    
  • G21K   1/06     

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