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ラム波型弾性波素子

シーズコード S130010553
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 中川 恭彦
技術名称 ラム波型弾性波素子
技術概要 ラム波の位相速度について理論解析を行い、水晶結晶の材料定数の温度依存性に基づいて、動作周波数fの温度特性の理論計算を行なって、周波数温度変化率Δf/fの値が小さくなる条件を探索した。その結果に基づき、水晶基板上にラム波型弾性波を発生させるすだれ状電極又は該電極と反射器を配置し、水晶基板のカット面及びラム波型弾性波の伝搬方向がオイラー角表示(λ,μ,θ)で下記(1)又は(2)式を満たすようにラム波型弾性波素子w構成した。(1)λ=11~19°,μ=2~10°,θ=86~94°(2)λ=41~49°,μ=170~178°,θ=86~94°
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研究分野
  • 弾性表面波デバイス
展開可能なシーズ 通信機器の基準クロックの周波数が高くなれば、温度変化に伴う周波数変化量の絶対値は大きくなり、現在のATカット水晶の周波数温度特性では、チャンネル間の干渉が起こることになる。したがって、水晶振動子の温度による周波数変化量をさらに低くしなければならない。そこで、現在最も周波数温度特性の良いATカット水晶振動子よりも、周波数変化量がさらに大幅に少ない振動子を提供することを目的とする。
このラム波型弾性波素子の温度依存性は、-20℃~+80℃の温度範囲において、その周波数変化量がおおよそ1.7ppmという小さな値となる。これは、現在最も安定した周波数温度特性を示すATカット水晶基板の周波数変化量の1/7程度の値である。したがって、このラム波型弾性波素子を基準クロックとして用いれば、ギガヘルツ帯においても、その周波数の変動をごく小さな値にすることができる。
用途利用分野 弾性波素子、共振器、周波数フィルタ、通信機器
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人山梨大学, . 中川 恭彦, . ラム波型弾性波素子. 特開2005-269284. 2005-09-29
  • H03H   9/25     
  • H01L  41/09     
  • H01L  41/18     

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