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円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の測定方法およびこれを用いた装置

シーズコード S130010605
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 但馬 文昭
  • 西山 善郎
技術名称 円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の測定方法およびこれを用いた装置
技術概要 中心軸が平行関係を持つ複数の円柱体の長さ方向に対して平行に偏光した平行偏光光を複数の円柱体に投射し、複数の円柱体の個々で平行偏光光の一部が反射して生じる散乱光の散乱角度と散乱光強度とを、複数の円柱体の周囲で円周上に配された複数の観測点で測定し、測定散乱強度を測定したときの、円柱体ごとの前記観測点から円柱体中心までの距離と前記円柱体ごとの散乱角度とから、円柱体間の多重散乱を考慮した式に基づいて複数の計算散乱光強度を算出する。測定により得た複数の測定散乱光強度と、算出した複数の計算散乱光強度とから、複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、偏差指標を最小とする前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して、複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める、円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の測定方法である。
画像

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研究分野
  • 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
展開可能なシーズ 複数の細径円柱体が平行や同軸に配されているナノカーボンチューブ、光ファイバ、めっき線、蒸着線や蜘蛛の糸などにおいて、個々の細径円柱体の直径、屈折率及び、それらの中心軸間距離並びに入射光軸と間隔のなす角を同時にはかる測定方法、およびこの測定方法を用いた装置を提供する。
投射されたレーザ光が被測定物である複数の円柱体による散乱によって生じる散乱光の散乱光強度及びその散乱角度を基に、被測定物の直径、屈折率及び中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数となる偏差指標を算出し、適正化することによって、複数の円柱体の直径、屈折率及び中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を同時に、効率よく且つ精度良く求めることができる。
用途利用分野 微細形状測定装置、レーザ寸法測定装置、屈折率測定装置、3次元測定装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人横浜国立大学, . 但馬 文昭, 西山 善郎, . 円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の測定方法およびこれを用いた装置. 特開2008-116410. 2008-05-22
  • G01B  11/08     
  • G01B  11/14     
  • G01B  11/26     
  • G01N  21/41     

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