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分光計測方法及び分光計測装置

シーズコード S130010623
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 紀和 利彦
  • 塚田 啓二
技術名称 分光計測方法及び分光計測装置
技術概要 分光計測装置は、テラヘルツ帯域のテラヘルツパルス光を測定試料に照射し、この測定試料からの応答信号を検出して測定試料の特性を測定するものである。この分光計測装置において、測定試料に対して分光光学系を配置し、測定試料におけるテラヘルツパルス光の照射面にレーザー光を照射して、照射面に対して垂直な軸方向における分光光学系と測定試料の相対位置或いは互いに直交する三軸方向における分光光学系と測定試料の相対位置を検出する位置計測手段を備える。この分光計測装置では、レーザーパルス発生器1とハーフミラー2とテラヘルツ発生器12とテラヘルツ検出器6と遅延装置3と4個の非軸放物面鏡7、8、10、11からなる反射型分光装置とレーザー位置センサー14から構成されている。パルスレーザー1から出力されたレーザーパルスL1は、ハーフミラー2によって、2つのレーザーパルスL2とL3に分岐される。分けられた一方のレーザーパルスL3は、テラヘルツ発生器12へ照射される。
画像

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研究分野
  • 光物性一般
展開可能なシーズ 測定試料の形状および物性および設置方法を限定せずに、測定試料によって反射したテラヘルツパルスの振幅強度情報と位相情報を含む測定を行う方法および装置を提供する。
測定試料と分光光学系の相対位置を検出し、この相対位置に基づいて応答信号の時間軸を補正するから、測定データの時間軸を一致させることができる。従って、パルス光が測定試料に入射した時刻を基準にトリガーによる応答信号の取り込み等が行われる。従って、パルス光の繰返しと同期させることにより高効率に誤差やノイズの少ない応答信号を検出することができる。
用途利用分野 分光計測装置、テラヘルツ時間分解反射測定装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人岡山大学, . 紀和 利彦, 塚田 啓二, . 分光計測方法及び分光計測装置. 特開2006-052948. 2006-02-23
  • G01J   3/28     
  • G01N  21/35     

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