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無接触搬送装置

シーズコード S130010648
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 磯部 浩已
技術名称 無接触搬送装置
技術概要 無接触搬送装置は、搬送路上で搬送品を下方から放出する流体Fの圧力によって浮揚させる流体圧浮揚手段と、搬送路に沿って配設される環状の弾性振動板と、この環状の弾性振動板に超音波振動を与えて撓み進行波を励起させる励振アクチュエータとからなる複数のドライブユニットとを備える。そして撓み進行波を励起している弾性振動板と、この振動板に対向した搬送品表面との間に発生する音響粘性流により、搬送路上で浮揚している搬送品を所定方向へ搬送する。その際、環状の弾性振動板の一部の弧状部が搬送路上の搬送品表面に対向するように配置されており、更に複数のドライブユニットにおける撓み進行波W伝播方向及び振動状態の調整により、搬送品の加減速及び発停と方向変換を可能としている。
画像

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研究分野
  • 荷役・運搬機械
展開可能なシーズ フラットパネルディスプレイ用のマザーガラス基板や半導体ウエハ等の平板状物品を始めとする搬送品を、完全に無接触として高度な清澄状態を保って搬送でき、しかも浮揚の負荷容量が大きく搬送手段としての信頼性に優れ、搬送速度や方向の制御が容易で設計自由度も大きい無接触搬送装置を提供する。
エアー圧で浮上させて送りローラによる搬送を行う方式における、送りローラとの接触による基板の汚損を避けまた、周縁下部が可動部や支持ローラに支承され静電吸引力や気体膜によって非接触状態に保つ搬送方式の場合の、支承部分の接触による汚染粒子発生の問題を根本的に解決し、さらに静電吸引力による浮揚の機構的な不安定のための安定化用の制御システムを不要として設備コストを抑えることが可能となる。
用途利用分野 無接触搬送装置、半導体製造装置、パネルディスプレイ製造装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人長岡技術科学大学, . 磯部 浩已, . 無接触搬送装置. 特開2006-076690. 2006-03-23
  • B65G  49/06     
  • B06B   1/02     
  • B65G  27/16     
  • B65G  49/07     
  • B65G  51/03     
  • H01L  21/677    

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