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強誘電体単結晶製造のための原料組成決定方法、強誘電体単結晶の音響関連物理定数の校正方法、及び弾性表面波デバイスの設計パラメータ決定方法

シーズコード S130010700
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 櫛引 淳一
  • 大橋 雄二
技術名称 強誘電体単結晶製造のための原料組成決定方法、強誘電体単結晶の音響関連物理定数の校正方法、及び弾性表面波デバイスの設計パラメータ決定方法
技術概要 均一な結晶育成を行うための真のコングルエント組成を決定することができる。従って、このような組成の強誘電体結晶を使用すれば、特性のばらつきの少ないデバイスを製造することができる。また、量産される単結晶に対し、VLSAW測定を用いた信頼性の高い化学組成評価が可能になる。
画像

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研究分野
  • 薄膜成長技術・装置
  • 弾性表面波デバイス
展開可能なシーズ 強誘電体単結晶の評価のために従来から用いられているキュリー温度TCの測定値は、測定条件や装置間でばらついており、また、その測定再現性も十分ではないため、均質な結晶育成が行える真のコングルエント組成を求めることが困難であった。そこで、育成結晶の正しい化学組成比を求め、高精度なSAWデバイス設計パラメータを与えることを目的とする。
均一な結晶育成を行うための真のコングルエント組成を決定することができる。従って、このような組成の強誘電体結晶を使用すれば、特性のばらつきの少ないデバイスを製造することができる。また、量産される単結晶に対し、VLSAW測定を用いた信頼性の高い化学組成評価が可能になる。
用途利用分野 弾性表面波デバイス、強誘電体単結晶製造法
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東北大学, . 櫛引 淳一, 大橋 雄二, . 強誘電体単結晶製造のための原料組成決定方法、強誘電体単結晶の音響関連物理定数の校正方法、及び弾性表面波デバイスの設計パラメータ決定方法. 特開2006-108940. 2006-04-20
  • H03H   3/08     

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