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プラズマ蒸着装置

シーズコード S130010731
掲載日 2013年6月6日
研究者
  • 長澤 武
技術名称 プラズマ蒸着装置
技術概要 プラズマ蒸着装置1は、円筒形状のケーシング6内に円筒電極3や棒電極2等を収容する。ケーシング6の外径は20mm程度であり、外部との電気的絶縁を確保するため、ケーシング6は絶縁部材で構成されるのが望ましい。先端には先端部蓋7が設けられ、この蓋7には、ケーシング6の外部にプラズマを噴出するための噴出口13が複数設けられる。ケーシング6の後端には後端部蓋8が設けられ、この蓋8には、ケーシング6内にガスを注入するガス注入管9が設けられる。後端部蓋8は、さらに円筒電極3と棒電極2との間に電圧印加するための配線が貫通可能に構成される。後端部蓋8には絶縁体が用いられる。ケーシング6の側面には、ケーシング6等を貫通する、円筒形状の絶縁物で形成された絶縁管14、16が設けられ、この絶縁管に蒸着原料15、17が挿入され、円筒電極3内の空間で蒸着原料を絶縁管よりも突出させることにより、ケーシング6内にて蒸着原料のプラズマ化が行われる。蒸着原料は、同じ原料のものを用いてもよいし、異なる原料を用いてもよい。原料の種類としては、銅、アルミニウム、金、銀その他の金属でもよいし、カーボンその他の非金属でもよい。
画像

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研究分野
  • 気相めっき
  • プラズマ装置
展開可能なシーズ 大気中で、所望の蒸着原料を用いた蒸着を行うことができるプラズマ蒸着装置を提供する。
大気中で、所望の蒸着原料を用いた蒸着を行うことができるプラズマ蒸着装置を提供することができる。また、蒸着原料として金属、非金属を問わずに用いることができ、対象物に様々な原料を積層する蒸着塗装を行うことができる。また、きめ細かい蒸着塗装を行うことができる。また、対象物の表面にてきめ細かく蒸着可能で対象物に対する接着力が強く、塗装面から剥がれにくくなる。また、異なる原料の複数の蒸着原料を同時に用いてその混合物を対象物に蒸着させることができ、従来は不可能であった新材料の蒸着塗装を行うことができる。また、蒸着対象の対象物の塗装面の材質や凹凸具合などを問わず、自在に蒸着塗装を行うことができる。また、蒸着塗装を行う前に、蒸着原料を装着しない状態でプラズマによる塗装面の清掃を行うことができ、より接着力が強い蒸着塗装を行うことができる。
用途利用分野 プラズマ蒸着装置、マルチ型プラズマ蒸着装置、自動車車体塗装装置、電車車体塗装装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人宇都宮大学, . 長澤 武, . プラズマ蒸着装置. 特開2006-328490. 2006-12-07
  • C23C  14/24     
  • H05H   1/32     

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