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立方晶窒化ホウ素を主成分とする膜よりなる電界電子放出体

シーズコード S130011048
掲載日 2013年6月7日
研究者
  • 堤井 君元
  • 松本 精一郎
技術名称 立方晶窒化ホウ素を主成分とする膜よりなる電界電子放出体
技術概要 この電子放出体は、立方晶窒化ホウ素を主成分とする膜よりなり、膜の表面が、10-5~10-1mmの高低差の突起を1012~10cm-2の密度で有し、高結晶性の特徴を示す。好ましくは、膜の表面に結晶粒径が10-5~10-1mmの立方晶窒化ホウ素が露出し、結晶稜により高低差が形成され、膜表面に露出した立方晶窒化ホウ素が、互いに間隔をもった島状に分布している。更に、膜を構成する立方晶窒化ホウ素が、光学的縦波モードのフォノンによるラマン散乱、光学的横波モードのフォノンによるラマン散乱のいずれか一方あるいは両方の半値幅が50cm-1以下のピークを示し、X線回折で(111)、(200)、(220)、(311)のいずれかの反射ピークの半値幅が、それぞれ、1.5、2.5、2.5、3度以下である。
画像

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研究分野
  • 電子管,放電管
展開可能なシーズ 低い放出しきい電界、大きな電流密度を有し、高い耐絶縁破壊電圧耐熱性や良好な機械特性などを実現可能にする電界電子放出体および製造方法を提供する。
成膜時のイオンエネルギーとフラックスを制御することによって、表面にナノ~マイクロメートルオーダーの高密度微細突起を形成することで、高い電界集中効果による電界放出特性を実現できると共に、電子電流密度を2桁以上向上できる。
用途利用分野 蛍光表示管、バックライト、真空ダイオード、電子銃、高周波管
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人物質・材料研究機構, 国立大学法人九州大学, . 堤井 君元, 松本 精一郎, . 立方晶窒化ホウ素を主成分とする膜よりなる電界電子放出体. 特開2009-158345. 2009-07-16
  • H01J   1/304    
  • H01J   9/02     

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