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固体材料の水素分析方法及びその装置

シーズコード S130011271
掲載日 2013年6月7日
研究者
  • 香川 喜一郎
  • 福元 謙一
  • 仁木 秀明
技術名称 固体材料の水素分析方法及びその装置
技術概要 固体材料の水素分析方法は、固体材料表面の測定部位に不活性ガスを供給しつつレーザーを照射して測定部位にプラズマを発生させ、プラズマの光から測定部位の水素を分析する。固体材料の水素分析方法は、固体材料表面の測定部位に不活性ガスを供給するガス供給工程、測定部位に向けてレーザーを照射して測定部位にプラズマを発生させるレーザー照射工程、レーザー照射中にプラズマから発する光を測定して、測定した水素の発光波長の発光強度に基づいて固体材料に含まれる水素濃度を分析する分析工程をそなえる。ガス供給工程では、少なくともプラズマが発生した領域における不活性ガスの圧力が、測定部位の周囲の圧力よりも高圧になるように、不活性ガスを供給する。
画像

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研究分野
  • 分光分析
展開可能なシーズ 不活性ガス中の金属等の固体材料にレーザーを照射して発生するプラズマからの固体材料が含む水素の濃度分析方法において、徹底的な水分の排除を行っても、測定対象の固体材料に含まれる水素以外の水素が検出される問題がある。そこで、固体材料が含む水素以外の水素の影響をほぼ完全に除去して、固体材料が含む水素濃度の定量分析を正確にできる水素分析方法及びその装置を提供する。
固体材料の水素分析方法は、プラズマが発生した領域の不活性ガスの圧力を周囲の雰囲気の圧力よりも高い圧力とし、プラズマが発生した領域を雰囲気からチャンバで隔離することで、雰囲気中の水素がプラズマが発生した領域に侵入することがなく、固体材料が含む水素濃度を精度よく、正確に分析できる。
用途利用分野 固体材料のの水素分析装置、金属材料の水素分析装置、半導体材料の水素分析装置、石英の水素分析装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人福井大学, . 香川 喜一郎, 福元 謙一, 仁木 秀明, . 固体材料の水素分析装置及びその方法. 特開2011-021976. 2011-02-03
  • G01N  21/63     

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