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熱線濃度計

シーズコード S130011330
掲載日 2013年6月7日
研究者
  • 木村 元昭
  • 桑原 弘樹
  • 秋元 雅翔
技術名称 熱線濃度計
技術概要 この熱線濃度プローブの先端部3のノズル部19を、微小な幅で所望流量の気体を吸い込み可能とする矩形扁平断面に形成した。シリコンウェハ23の表面に絶縁層25を製膜すると共に、このシリコンウェハ23に吸引部に接続させるための接続流路を形成する第1の工程と、絶縁層25の表面に、センサ部21をスパッタリングにより形成する第2の工程と、絶縁層25の表面に、センサ部21に接続した配線部35a、35bを蒸着する第3の工程と、配線部35a、35bの端末に、電極37a、37bを蒸着する第4の工程と、絶縁層25の表面にポリイミド層27をコーティングする第5の工程と、ポリイミド層27にノズル部19及びノズル部19に連通しセンサ部21を臨ませ接続流路31に連通する流路をエッチングする第6の工程とを備えたことを特徴とする。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 分析機器
展開可能なシーズ 濃度分布の分解能を図ることを可能にすると共により高い応答性の確保を可能とし、且つノズル形状の特定を容易とし、熱線濃度計そのものも小さくすることを可能とする。
先端にノズル部を有し内部にセンサ部を有する熱線濃度計であって、ノズル部を、微小な幅で所望流量の気体を吸い込み可能とする矩形扁平断面に形成した。このため、気体の流れに交差する方向の濃度分布に対し微小な幅で所望流量の気体を吸い込み可能とする矩形扁平断面のノズル部により特定個所の気体を吸い込むことができる。
用途利用分野 マイクロチャンネル用気体濃度測定装置、MEMS用濃度測定装置、μTAS用濃度センサ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人日本大学, . 木村 元昭, 桑原 弘樹, 秋元 雅翔, . 熱線濃度計. 特開2011-107035. 2011-06-02
  • G01N  25/18     

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