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マイクロチャネルプレート組立体及びマイクロチャネルプレート検出器

シーズコード S130011394
掲載日 2013年6月7日
研究者
  • 小林 峰
  • アンジェイェフスキ ロフ
技術名称 マイクロチャネルプレート組立体及びマイクロチャネルプレート検出器
技術概要 マイクロチャネルプレート組立体は、検出体が入射する側からみて1段目のマイクロチャネルプレート81と、2段目のマイクロチャネルプレート82と、3段目のマイクロチャネルプレート83とを順次重ねて配置した構造を有する。そして、1段目のマイクロチャネルプレート81は2次電子増倍利得が1倍~4×10倍であり、2段目及び3段目のマイクロチャネルプレート82、83は2次電子像倍利得が3×10倍~1×10倍である、あるいは1段目のマイクロチャネルプレート81には400V~800Vの電圧を印加し、2段目及び3段目のマイクロチャネルプレート82、83には1000V~1250Vの電圧を印加する。また、1段目のマイクロチャネルプレート81の発散角は2段目のマイクロチャネルプレート82の切り出し角より小さく、1段目のマイクロチャネルプレートの81切り出し角は0~5度であることが好ましい。このようなマイクロチャネルプレート組立体と、マイクロチャネルプレート組立体の出射面に配置されたワイヤアノード検出器とを備えてマイクロチャネルプレート検出器を構成する。
画像

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研究分野
  • 質量分析計
  • 電子ビーム・イオンビームの応用
  • 質量分析
展開可能なシーズ マイクロチャネルプレート(MCP)を用いた検出器では、例えば散乱イオンを検出する場合、散乱イオンのMCPへの入射位置によってチャネル壁との衝突角が異なることにより、検出面上の位置に依存して検出効率が異なる問題がある。極端な場合、MCPのチャネルの方向とイオンの入射方向とが一致した場合には、二次電子の増倍が行われず、散乱イオンがMCPに入ったことを検出することができない。特に、この問題は、MCPを大立体角検出器で放射状に散乱するイオン検出するときに顕著である。そこで、MCPの検出面上の位置によって検出効率が異なる問題を解決し、また検出器全面での検出効率を向上可能にする。
検出体のMCPへの入射角度や入射位置によらず、MCP全面で検出効率を一様にすることができる。
用途利用分野 マイクロチャネルプレート検出器、飛行時間型二次イオン質量分析装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人理化学研究所, . 小林 峰, アンジェイェフスキ ロフ, . マイクロチャネルプレート組立体及びマイクロチャネルプレート検出器. 特開2011-129362. 2011-06-30
  • H01J  43/24     

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