TOP > 技術シーズ検索 > 走査プローブ顕微鏡の探針位置固定方法

走査プローブ顕微鏡の探針位置固定方法

シーズコード S022000154
掲載日 2003年5月26日
研究者
  • 潮田 資勝
研究者所属機関
  • 東北大学 電気通信研究所
研究機関
  • 東北大学 電気通信研究所
技術名称 走査プローブ顕微鏡の探針位置固定方法
技術概要 この新技術は走査プローブ顕微鏡(STM)の探針位置固定法への提案である。この技術に係るSTMの探針位置固定のためのサーボ機構は探針ドリフトに伴うSTM像の時間的な変化をSTM像の重ね合わせによって追跡してドリフト量を算出し、これを復元するように探針位置を制御することによって探針ドリフトを最少限にとどめる。システム構成例を図示するが、1が本体、2がSTMフィードバックコントローラ、3が位置制御電圧発生用D/Aコンバータ、4が制御コンピュータで、13は試料ホルダ、12は探針で、11は位置制御用圧電素子である。この方法によってSTMの探針を試料の任意の位置に、任意の時間間隔だけ固定(ロック)する方法が、そのための特殊な回路及び機械を付加することなく実現されることとなった。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

S022000154_01SUM.gif S022000154_02SUM.gif
従来技術、競合技術の概要 同様なことを意図していくつかの技術が開発されているが、本発明のように任意の試料位置に任意時間固定できるものはなかった。探針ドリフトを回避するための方法はいくつか試みられてはいるが、探針ドリフトの量を事前に予測する方法は、ドリフトは時間に対して必ずしも一定に起こらないから無理であり、また、原子レベルの位置分解能で探針を固定可能のものであっても固定出来る場所が試料表面構造での頂点もしくは底に限定され試料表面のどこでも任意の位置とは限らない。
研究分野
  • 顕微鏡法
展開可能なシーズ (1)特別な回路や機器を付加することなく既存のSTMに導入できる走査型トンネル顕微鏡
(2)STMの探針を試料表面の任意位置に高精度で固定可能な走査型トンネル顕微鏡
用途利用分野 任意の位置での高分解能STM計測
関連発表論文 (1)坂本謙二, 上原洋一, 潮田資勝. STM発光分光による表面吸着種の同定. 日本化学会講演予稿集. vol.81st,no.1,2002,p.252.
(2)上原洋一, 鶴岡徹, 潮田資勝, . STM発光分光法による個々の表面ナノ構造の研究. 固体物理. vol.36,no.5,2001,p.253‐260.
(3)潮田資勝. STM発光分光による表面極微細構造の研究. 表面の物性とその観測:走査型プローブと分光学の接点. 1997,p.1‐2.
(4)上原洋一, 潮田資勝. STM発光分光によるナノ領域評価. 電気学会電子材料研究会資料. vol.EFM‐96,no.21‐25.27‐32,1996,p.51‐57.
(5)上原洋一, 潮田資勝. 走査型電子顕微鏡の発光現象. 応用物理. vol.60,no.12,1991,p.1235‐1238.
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東北大学, . 潮田 資勝, 上原 洋一, 伊藤 啓司, . 走査プローブ顕微鏡の探針位置固定方法. 特開平11-281655. 1999-10-15
  • G01N  13/12     
  • G01B   7/34     

PAGE TOP