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表面形状測定装置

シーズコード S130011658
掲載日 2013年6月7日
研究者
  • 小野 明
  • 谷田貝 豊彦
技術名称 表面形状測定装置
技術概要 表面形状測定装置10は、参照ミラー251~25Nの各々に照射される第2分割光L2を、L21~L2Nとすると、これらが照射された各参照ミラー251、~25Nの各々から、参照光LR1~参照光LRNが反射される。この参照光LR1、参照光LR2、参照光LR3、参照光LR4、参照光LRNの各々と物体光LSとが順に重畳されて生成される検出光LC1~検出光LCNについて表面形状の測定が行われる。同じ参照ミラーで検出光が生成されるまでの一連の行程をステップとし、表面形状測定装置10は、被測定体MB上の同じ測定位置において、第1ステップ~第Nステップからなる表面形状の測定が行われる。ここで、以上のN個の参照ミラー251~25Nは、参照ミラー251から順に光路長をΔZずつ長くなるように配置されている。フォトカプラ13から参照ミラー251までの参照光についての光路長をD1とすると、参照ミラー25Nまでの光路長はD1+N×ΔZである。つまり、フォトカプラ13から被測定体BMまでの物体光LSの光路長が、D1~D1+N×ΔZの範囲に入っていれば形状が測定できる。
画像

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研究分野
  • 干渉測定と干渉計
  • 光学情報処理
展開可能なシーズ 可干渉距離を超える奥行きを持つ被測定体の表面形状を迅速に測定できる装置を提供する。
第1参照光生成部から第N参照光生成部にかけての光路長の差の総和が、可干渉距離の2倍以上に設定されているので、第1生成部から第N生成部に順に第2分割光を照射して反射される参照光を得ることで、第1参照光生成部から第N参照光生成部を移動させることなく、可干渉距離を超える奥行きを持つ被測定体の表面形状を迅速に測定できる。
用途利用分野 光表面形状測定装置、OCT、3次元形状測定器
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人宇都宮大学, . 小野 明, 谷田貝 豊彦, . 表面形状測定装置. 特開2011-226785. 2011-11-10
  • G01B  11/24     

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