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形状測定方法及び装置並びに歪み測定方法及び装置

シーズコード S130011659
掲載日 2013年6月7日
研究者
  • 谷田貝 豊彦
技術名称 形状測定方法及び装置並びに歪み測定方法及び装置
技術概要 この形状測定装置1は、光源部11と、光源部11からの光22を透過させる格子板12と、透過した光23を被測定物14に投影するレンズ13と、被測定物14上の格子像を撮影する撮像装置15と、撮像装置15で得た格子像の歪みから被測定物14の3次元形状を計算する演算装置16とを有するフリンジ投影法による形状測定装置である。演算装置16が、格子像の画像データ取り込み、取り込んだ画像データを二次元フーリエ変換し、n次のピーク信号取り出し、位相分布を含む信号を逆フーリエ変換し、三次元形状数値化する。被測定物14の表面が完全な平面である場合は、被測定物表面に投影された格子像は格子板12の格子線群そのままとなる。しかし、被測定物表面が完全な平面ではない場合は、光軸24に対して被測定物表面が傾いており、投影される格子像の線間隔が変わってくる。例えば被測定物表面が曲面の場合、格子像の線間隔はそれぞれ異なり、歪んだ曲線群になる。この曲線群の歪みをホログラム上の干渉縞の歪みと等価であるとして、その歪んだ曲線を画像データとして取り込み、その画像データを計算して被測定物14の形状を測定する。
画像

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研究分野
  • 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
  • レーザの応用
展開可能なシーズ 高精度且つ高感度の形状測定を実現できる形状測定方法及び装置並びに歪み測定方法及び装置を提供する。
感光剤の現像プロセスや、再生光学系とそのハンドリング等の煩雑な手順を必要としないで、形状や歪測定における感度を向上させることができる。
用途利用分野 高精度高感度形状測定測定装置、歪測定装置、3次元測定装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人宇都宮大学, . 谷田貝 豊彦, . 形状測定方法及び装置並びに歪み測定方法及び装置. 特開2011-226871. 2011-11-10
  • G01B  11/25     
  • G01B  11/16     
  • G01B   9/02     

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