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強誘電体の脱分極方法、および強誘電体デバイス

シーズコード S130011724
掲載日 2013年6月7日
研究者
  • 油谷 英明
技術名称 強誘電体の脱分極方法、および強誘電体デバイス
技術概要 図3の強誘電体1はPZT系セラミックス単板であり、強誘電体1の表裏主面には銀電極2,3が形成されている。また、電極3の電極表面上に振動センサ4を圧接させている。そして、電源5のプラス側を電極2に、マイナス側を電極3に接続する。振動センサ4は増幅器6に接続され、増幅器6から出力される電圧信号は、コントローラ7に入力される。コントローラ7は電源5に接続されている。次に、電源5の電圧を上昇させて、強誘電体1の分極反転を行う。前記電圧の印加中、振動センサ4は強誘電体1の圧電性により生じる強誘電体1の前記機械的振動を電圧信号に変換し、コントローラ7に入力する。コントローラ7は、前記電圧信号の振幅に基づき、強誘電体1の圧電性のレベルを検出する。さらに、該圧電性のレベルの最低値に基づき、強誘電体1の圧電性の目標消失レベル値を設定する。分反転中の強誘電体1の圧電性が目標消失レベル値以下に達した時に、コントローラ7は電源5の電圧印加を停止させる。すると、前記電圧信号は、前記電圧の低下中途と、0Vに戻した状態とにおいても、前記目標消失レベル値以下の状態を維持し、強誘電体1の脱分極状態が継続する。
画像

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研究分野
  • 圧電デバイス
展開可能なシーズ 効率的かつ効果的な、強誘電体の脱分極方法を提供するとともに、多機能化・高機能化された強誘電体デバイスを提供することを目的とする。
強誘電体部を電極間に介在させてなる強誘電体デバイスにおいて、強誘電体部の脱分極状態を繰り返し利用することが容易となり、分極状態の、圧電歪と、残留歪と、誘電率と、分極値と、弾性率とに加え、脱分極状態の、残留歪と、誘電率と、分極値と、弾性率とを併せ持ち、脱分極状態から分極状態へ変化したときに生じる残留歪を歪保持に利用することが可能な、多機能・高機能化された強誘電体デバイスを提供することができる。
用途利用分野 圧電デバイス、焦電性デバイス、容量性強誘電体デバイス、強誘電体メモリデバイス
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人国立高等専門学校機構, . 油谷 英明, . 強誘電体の脱分極方法、および強誘電体デバイス. 特開2011-249421. 2011-12-08
  • H01L  41/257    
  • H01L  41/113    

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