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電界効果トランジスタ、その製造方法及びバイオセンサ

シーズコード S130011735
掲載日 2013年6月7日
研究者
  • 川原田 洋
  • 田島 慎也
技術名称 電界効果トランジスタ、その製造方法及びバイオセンサ
技術概要 このバイオセンサ1は、電界効果トランジスタ11のソース電極3及びドレイン電極4が壁部で取り囲まれており、その壁部で囲まれた領域に、電解質溶液が貯留され、この電解質溶液内に参照電極5を浸漬させる。ソース電極3及びドレイン電極4間には、ダイヤモンド基板2内にチャネル層が形成されているとともに、チャネル層の表面6にアミノ基によりアミノ終端化された検出層7が設けられている。検出層7は、リンカー分子としてのアプタマー8がアミノ基に結合しており、電解質溶液中に存在する検出対象分子が、アプタマー8と結合し得るようになされている。なお、リンカー分子には、DNAのカルボキシル基を用いてもよい。これにより、検出層7は、参照電極5から検出層7に電界が印加されている状態で、検出対象分子がアプタマー8と結合すると、検出対象分子から発生する電荷により、チャネル層において電流量を変化させ得る。さらに、ソース電極3及びドレイン電極4は、チタンから形成され、その表面全体が酸化チタン膜9により被膜されている。なお、酸化チタンは、非常に安定した物質であって、強い耐食性を有し、その膜質が均質で緻密である。
画像

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研究分野
  • バイオアッセイ
  • 固体デバイス製造技術一般
展開可能なシーズ 製造コストを低減できるとともに、品質を均一化し得る電界効果トランジスタ、その製造法及びバイオセンサを提供する。
ソース電極及びドレイン電極をチタンで形成し、これらソース電極及びドレイン電極を自然酸化させることにより酸化チタン膜を形成して、このソース電極及びドレイン電極の表面を酸化チタン膜で被覆するようにしたことにより、従来行われていたソース電極及びドレイン電極を絶縁性エポキシ樹脂で覆う工程を省くことができ、その分だけ製造コストを低減し得る。また、ソース電極及びドレイン電極自体が自然酸化し、それら表面に自然に酸化チタン膜が形成されることから、従来のように検出層にまで絶縁性エポキシ樹脂がはみ出す虞もなく、ソース電極及びドレイン電極だけを酸化チタン膜で確実に被覆させることができ、かくして品質の均一化を図ることができる。
用途利用分野 バイオセンサ、DNAセンサ、蛋白質センサ、アミノ酸センサ、免疫測定装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人早稲田大学, . 川原田 洋, 田島 慎也, . 電界効果トランジスタ、その製造方法及びバイオセンサ. 特開2011-247795. 2011-12-08
  • G01N  27/414    

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