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光陰極高周波電子銃、および光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置

シーズコード S130011738
掲載日 2013年6月7日
研究者
  • 坂上 和之
  • 鷲尾 方一
技術名称 光陰極高周波電子銃、および光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置
技術概要 光陰極高周波電子銃1は、カソード部3と、このカソード部3にレーザー光8を照射するレーザー照射口4と、カソード部3から放出された電子9を加速する加速空胴部5と、この加速空胴部5の内部に高周波を導入する高周波導入部15と、を備える。加速空胴部15は、二以上の基本セル10と、この基本セル10同士の間に設けられる基本アイリス12と、基本セル10の出口に最終アイリス13を挟んで連通された最終セル11とを有し、基本アイリス12は、基本セル10のうち終端に設けられた出口セル(第2セル10B)と、この出口セルと隣り合う他の基本セルの間に配置された、後方アイリスを含み、最終アイリス13の厚さは、後方アイリスの厚さと異なる。この電子銃において、最終アイリス13の厚さが後方アイリスの厚さより薄く形成され、高周波の波長をλとした場合、最終アイリス13の厚さをλ/8~λ/10とした。他に電子線装置の発明あり。
画像

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研究分野
  • 電子源,イオン源
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
展開可能なシーズ 従来の電子銃は、陰極(カソード)と加速空胴が一体に形成されており、生成した電子を即座に加速することにより、高輝度な電子ビームを得ることができるが、電子が十分に加速されるまでの空間電荷効果(電子同士の斥力)によって電子の時間幅は広がってしまい、生成された電子ビームの時間幅は、3ps(rms)程度となってしまう、という問題があった。そこで、電子ビームの時間幅を容易に変更することができる電子銃、および、この電子銃を備えた電子線装置を提供する。
最終アイリスの厚さを変更することにより、電子ビームの時間幅を容易に変更することができる。
用途利用分野 電子線装置、テラヘルツ電磁波発生装置、透過型電子顕微鏡、非破壊検査装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人早稲田大学, . 坂上 和之, 鷲尾 方一, . 光陰極高周波電子銃、および光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置. 特開2012-004069. 2012-01-05
  • H01J  37/073    
  • H05H   7/08     
  • H05H   7/18     

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