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対物レンズ系及び電子顕微鏡

シーズコード S130011755
掲載日 2013年6月7日
研究者
  • 永山 國昭
  • 永谷 幸則
  • 新井 善博
技術名称 対物レンズ系及び電子顕微鏡
技術概要 対物レンズ系1は、電磁レンズからなる対物レンズ(対物前方電磁レンズ2a、対物後方電磁レンズ2b)と、この対物レンズにおける電子線入射側に配設されたマイクロ波加速器3と、を少なくとも有する。この対物レンズ系1では、マイクロ波加速器3に加えて、対物レンズの後(電子線出射側)に、マイクロ波減速器4が配設されていてもよい。マイクロ波加速器3及びマイクロ波減速器4は、マイクロ波空洞であり、マイクロ波加速器3として使用される前方マイクロ波空洞と、マイクロ波減速器4として使用される後方マイクロ波空洞とが、同一の高周波電力源5に接続されており、この高周波電力源5から供給されるマイクロ波の位相により、電子線の加速又は減速が制御される。この場合、前方マイクロ波空洞と後方マイクロ波空洞が等価であり、これらが鏡像対象になるように配置されても良く、高周波電力源5はクライストロンである。そして、この対物レンズ系1を組み込んで電子顕微鏡を構成することができる。この電子顕微鏡は、例えば透過型電子顕微鏡又は走査透過型電顕微鏡である。
画像

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研究分野
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
  • 粒子光学一般
展開可能なシーズ 従来の超高圧電子顕微鏡には、装置が大型で、高価であるという問題点がある。これは、直流の超高圧電圧を作り出す装置(直流超高圧電源)、電子線を加速させるための直流加速管、高速電子線を曲げるための電磁レンズ及びエネルギーフィルターなどが巨大で、かつ高価なためである。そこで、直流超高圧電源、直流加速管及び多数の超高圧用電磁レンズを使用しなくても、超高圧に加速された電子線による試料観察が可能な対物レンズ系及び電子顕微鏡を提供する。
直流超高圧電源を使用しなくても、超高圧に加速された電子線による試料観察が可能となるため、超高圧電子顕微鏡の小型化及び低コスト化を実現することができる。
用途利用分野 透過型電子顕微鏡、走査透過型電顕微鏡
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 大学共同利用機関法人自然科学研究機構, 永山 國昭, . 永山 國昭, 永谷 幸則, 新井 善博, . 対物レンズ系及び電子顕微鏡. 特開2012-003843. 2012-01-05
  • H01J  37/141    
  • H01J  37/26     
  • H01J  37/28     

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