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イオン源

シーズコード S130011785
掲載日 2013年6月7日
研究者
  • 節原 裕一
  • 石川 健治
  • 堀 勝
  • 江部 明憲
  • 田 昭治
技術名称 イオン源
技術概要 イオン源は、真空容器14と、この真空容器内に配置され、第1開口部(上方開口部11b)と第2開口部(底面開口部11a)とを有し、第1開口部が真空容器14の内壁に接続された誘電体容器11と、真空容器14内であって、誘電体容器11の第2開口部に配置された引き出し電極13と、誘電体容器11内に配置され、誘電体容器11の内壁に沿って周回せずに湾曲された線状の導体100と導体100を被膜する誘電体101とからなり、導体100の両端が第1開口部を介して真空容器14の内壁に接続された低インダクタンス内部アンテナ10と、この低インダクタンス内部アンテナに接続する高周波電源15と、所望のイオンを発生させるためのガスを、誘電体容器11の内部に供給する供給管17と、真空容器14内部を排気する排気管18と、を有する。低インダクタンス内部アンテナは、単数であってもよいし、複数有していてもよい。低インダクタンス内部アンテナを複数設ける場合、その配列によって生成される誘導結合プラズマの電子密度やエネルギーを制御することも可能であり、プラズマの安定性を高めることも可能である。
画像

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研究分野
  • 電子源,イオン源
  • プラズマ装置
展開可能なシーズ 様々なイオン種を発生させることができ、イオンエネルギーが揃ったイオンを発生させることができるイオン源を提供する。
プラズマは、低インダクタンス内部アンテナによって誘電体容器内で生成するため、金属に対する腐食性を有したガス種を用いることが可能であり、様々なイオン種を発生させることができる。また、低インダクタンス内部アンテナを用いるため、高周波電力を効率的にプラズマ生成に利用することができる。また、高周波電力供給時に低インダクタンス内部アンテナに発生するアンテナ電圧が小さいので、プラズマ電位の揺動を小さく抑えることができ、イオンのエネルギーを揃えることができる。特に、従来の誘導結合プラズマを用いたイオン源では、金属に対する腐食性の高いガスのイオンを発生させるとプラズマが揺動して不安定となり、イオンエネルギーのばらつきが大きかったが、そのような金属に対する腐食性の高いガスを用いた場合でも、プラズマの揺動を抑制し、イオンエネルギーのばらつきを小さくすることができる。
用途利用分野 プラズマ発生装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人名古屋大学, 株式会社片桐エンジニアリング, 株式会社イー・エム・ディー, . 節原 裕一, 石川 健治, 堀 勝, 江部 明憲, 田 昭治, . イオン源. 特開2012-038568. 2012-02-23
  • H01J  27/16     
  • H01J  37/08     
  • H05H   1/46     

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