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回転工具と被加工物間の間隙長さ測定方法及びシステム

シーズコード S130011840
掲載日 2013年6月7日
研究者
  • カチョーンルンルアン パナート
  • 木村 景一
技術名称 回転工具と被加工物間の間隙長さ測定方法及びシステム
技術概要 回転工具と被加工物間の間隙長さを測定する方法は、回転工具とそれに対向配置した被加工物との間の間隙を超える幅を有するパルス化レーザ光を発生して、発生レーザ光の光軸を被加工平面に対して傾斜させて間隙に照射する。パルス化レーザ光は、回転工具の1回転又は整数回転当たり1パルスの発振パルス周期を有し、発振パルスオン期間の間に回転工具の同一角度範囲に照射する。間隙に照射されて間隙により遮蔽されずに回折した光を受光センサーにより検出し、2つの回折光のピーク間隔Wとフーリエ変換レンズの焦点距離f、レーザ光の波長λを用いて間隙長さを求める。
画像

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研究分野
  • 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
展開可能なシーズ 回転中の工具と被加工物間の間隙を直接測定する手法を提供する。
本発明によれば、超精密マシニングセンターにおいて、毎分十数万の高速回転体である工具先端の位置と被加工物間の間隙長さをサブマイクロメートルの精度で測定することが可能になる。本発明は、光回折による間隙測定法における基準ナイフエッジを用いず、被加工物そのもののエッジを基準エッジとして利用した測定を行うことにより、直接工具先端と被加工物間の間隙を高精度に測定することができた。また、レーザ照射をパルス化したため、回転中の工具先端の角度位置を特定して測定することが可能となった。
用途利用分野 回転工具と被加工物間の間隙長測定装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人九州工業大学, . カチョーンルンルアン パナート, 木村 景一, . 回転工具と被加工物間の間隙長さ測定方法及びシステム. 特開2012-032222. 2012-02-16
  • G01B  11/14     
  • B23Q  17/24     

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