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金属材料表面へのワイヤ状突起物の形成方法、及び該ワイヤ状突起物を備える金属材料

シーズコード S130011846
掲載日 2013年6月7日
研究者
  • 加藤 昌彦
  • 林 真人
  • 菅田 淳
  • 曙 紘之
技術名称 金属材料表面へのワイヤ状突起物の形成方法、及び該ワイヤ状突起物を備える金属材料
技術概要 金属材料表面へのワイヤ状突起物の形成方法は、まず、時効性金属材料である基板を固溶化熱処理し(ステップS1)、次に、高周波マグネトロンスパッタ装置のチャンバ内に基板を設置する(ステップS2)。その後、不活性ガスをチャンバ内に導入しながら、高周波電力の出力によりチャンバ内にプラズマを発生して、チャンバ内に設置された金属材料表面のスパッタエッチング(第1スパッタ工程)を行う(ステップS3)。これにより、金属材料表面に円錐状突起物が形成される。次に、不活性ガスに加えて、水或いは水素をチャンバ内に導入しながら、高周波電力の出力によりチャンバ内にプラズマを発生して、金属材料表面のスパッタエッチング(第2スパッタ工程)を行う(ステップS4)。このステップS4により、基板表面には円錐状突起物の先端から成長したワイヤ状突起物が形成される。なお、前記金属材料は、時効性金属材料であることが好ましく、また、第1、2スパッタ工程では、高周波電力が同一の大きさで出力され、第2スパッタ工程のスパッタエッチング時間を、第1スパッタ工程のスパッタエッチング時間で除した値は、0.2以上0.3以下であることが好ましい。
画像

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研究分野
  • 表面処理
  • 気相めっき
  • スパッタリング
展開可能なシーズ 金属材料の表面積を大きく増加させることのできる金属材料表面へのワイヤ状突起物の形成方法、及び該ワイヤ状突起物を備える金属材料を提供する。
第1のスパッタ工程で円錐状突起物が形成され、第2のスパッタ工程で円錐状突起物の先端からワイヤ状突起物が形成される。ワイヤ状突起物は、アスペクト比が極めて大きいため、このワイヤ状突起物が形成されることで、金属材料の表面積は大きく増加する。
用途利用分野 金属材料表面突起物、ワイヤ状突起物、時効性金属材料、電気自動車用電気二重層キャパシタ、蓄電池用電極材料、スパッタエッチング、グリップローラ、接触搬送手段
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人広島大学, . 加藤 昌彦, 林 真人, 菅田 淳, 曙 紘之, . 金属材料表面へのワイヤ状突起物の形成方法、及び該ワイヤ状突起物を備える金属材料. 特開2012-026002. 2012-02-09
  • C23F   4/00     

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