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シリコンナノワイヤーの製造方法

シーズコード S130011857
掲載日 2013年6月7日
研究者
  • 野平 俊之
  • 萩原 理加
  • 西村 友作
  • 水谷 陽介
技術名称 シリコンナノワイヤーの製造方法
技術概要 シリコンナノワイヤーの製造方法は、不活性ガス雰囲気中で亜鉛の存在下で四塩化ケイ素を450~600℃の温度に加熱する。四塩化ケイ素1モルあたりの亜鉛の量は、2~5モルである。金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケル、鉄、アルミニウム、ガリウム、インジウム、ゲルマニウム、錫および鉛からなる群より選ばれた少なくとも1種の触媒の存在下で四塩化ケイ素を加熱する。四塩化ケイ素をシリコン片の存在下で加熱する。閉鎖系内で四塩化ケイ素を加熱する。この方法は、亜鉛の存在下で四塩化ケイ素を加熱する点に大きな特徴がある。このように亜鉛の存在下で四塩化ケイ素を加熱するという操作が採られているので、従来のシリコンナノワイヤーの製造方法における加熱温度(700~1100℃)と対比して、その加熱温度を大幅に低下させてシリコンナノワイヤーを製造することができる。また、従来のシリコンナノワイヤーの製造方法では、アルミニウムが混入するため、シリコンナノワイヤーの純度が低下するという欠点がある。これに対し、この方法では、アルミニウムを必要としないので、アルミニウムの混入はない。
画像

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研究分野
  • 無機工業薬品,無機材料
展開可能なシーズ 従来のシリコンナノワイヤーの製造方法よりもさらに低温領域で、アルミニウムの混入がない高純度を有するシリコンナノワイヤーを製造することができる方法を提供する。
太陽電池の光起電力の電力素子をはじめ、充放電による膨張と収縮を繰り返し受けた場合であっても粉末化しがたいことからリチウム電池の負極材料などに有用である、アルミニウムの混入がない高純度を有するシリコンナノワイヤーを低温で製造することができる。
用途利用分野 シリコンナノワイヤー、太陽電池素子、リチウム電池負極材料
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人京都大学, . 野平 俊之, 萩原 理加, 西村 友作, 水谷 陽介, . シリコンナノワイヤーの製造方法. 特開2012-041235. 2012-03-01
  • C01B  33/033    

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