TOP > 技術シーズ検索 > 白色干渉法による振動測定装置及び振動測定方法

白色干渉法による振動測定装置及び振動測定方法

シーズコード S130011991
掲載日 2013年6月10日
研究者
  • 青戸 智浩
技術名称 白色干渉法による振動測定装置及び振動測定方法
技術概要 白色干渉法による振動測定装置1は、白色光源3から照射される白色光3aを参照光4bと測定光4cに分割する光カプラ4と、光カプラ4から光ファイバ6を介して照射された参照光4bの進行方向を変える光学素子7a、b光学素子7a、bから出た参照光の進行方向を反転する反射素子7e、光学素子7a、bを往復移動させる直動ステージ、及び光学素子7a、bの位置を取得するスケールヘッド7cからなる参照光路長スキャナ部7と、光カプラ4から光ファイバ6を介して照射された測定光4cを発散又は収束させる集光レンズ8c、dと、参照光路長スキャナ部7と同期して集光レンズ8c、dを移動させ測定光4cのスポットサイズを調整するレンズ移動機構8eからなるセンサ部8と、参照光路長スキャナ部7から返った参照光4bとセンサ部から返った測定光4cを合成させ、合成結果を電気信号である干渉信号として出力する光検出器5と、干渉信号を所定時間取得し、得られた干渉信号の強度を高速フーリエ変換処理で干渉信号の強度の周波数と振幅を解析して、測定対象物の振動周波数及び振動変位量を求める処理装置11と、からなる。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_2010-231050.gif
研究分野
  • 振動の励起・発生・測定
展開可能なシーズ 白色干渉法を用いて、μメートルオーダの高精度で測定対象物の位置を決定し、更に測定対象物の振動周波数をkHzオーダの高速で検出でき、かつナノメートルオーダの振動変位量を測定できる振動測定装置及び振動測定方法を提供する。
この振動測定装置は、その構成により、μメートルオーダの高精度で測定対象物の位置を決定し、更に測定対象物の振動をkHzオーダの高速で検出でき、かつナノメートルオーダの振動変位量の測定が可能になる。例えば、加速空洞モジュールのように、測定対象物が容器内にある場合に、光透過性の窓を通して、測定対象物の振動周波数、振動変位量を測定できる。更に、放射光ナノビーム等で、分光器のミラーや回析格子といった真空中の光学素子の位置、振動を、真空封止してある光透過性の窓を通じて測定できる。
用途利用分野 白色干渉法による振動測定装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構, . 青戸 智浩, . 白色干渉法による振動測定装置及び振動測定方法. 特開2012-083274. 2012-04-26
  • G01H   9/00     
  • G01B   9/02     
  • G01B  11/00     
  • G01N  21/45     

PAGE TOP