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全反射蛍光X線分析装置及び全反射蛍光X線分析方法

シーズコード S130012123
掲載日 2013年6月10日
研究者
  • 河合 潤
  • 国村 伸祐
技術名称 全反射蛍光X線分析装置及び全反射蛍光X線分析方法
技術概要 蛍光X線分析装置10は、制御部11とX線照射部13と、検出部14を備えている。制御部11は、操作部12からの操作信号を受けてX線照射部13及び検出部14を制御する。X線照射部13は駆動回路131とX線管132から成り、駆動回路131によって駆動されたX線管132はX線を放射する。X線管132から放射されたX線は導波路15を通り試料台載置部16に着脱可能に装着された試料台17に入射する。検出部14はX線検出器141とX線検出器141の検出信号を増幅する増幅器142から成る。試料台17には1次X線として非単色化X線が照射されるように構成されている。
画像

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研究分野
  • 物理分析
展開可能なシーズ 蛍光X線分析法による元素の検出感度を上げるために単色化(モノクロ)したX線を試料に入射させる方法がある。しかし、入射X線を単色化すると当該入射X線の強度が低下するので、大型のX線発生装置を用いているが、その分、蛍光X線分析装置が大型化する。また、高出力X線が外部に漏洩することを防止する遮蔽部材が必要となり、重量化する。そこで、小型化及び軽量化を図ることができる高感度な全反射蛍光X線分析装置及び全反射蛍光X線分析方法を提供する。
X線源から放射されるX線を単色化することなくそのまま試料を照射するため、全反射蛍光X線分析装置の小型化を図ることができる。また、X線源から放射されるX線を単色化しないため、小型の低電力のX線源を用いることができる。従って、遮蔽部材を軽量にしたり不要にしたりすることができ、全反射蛍光X線分析装置の軽量化を図ることができる。
用途利用分野 全反射蛍光X線分析装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人京都大学, . 河合 潤, 国村 伸祐, . 全反射蛍光X線分析装置及び全反射蛍光X線分析方法. . 2012-02-02
  • G01N  23/223    

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