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回折像取得方法、及び荷電粒子線装置

シーズコード S130012172
掲載日 2013年6月10日
研究者
  • 土橋 高志
  • 高口 雅成
  • 上村 理
  • 太田 洋也
  • 郷原 一寿
技術名称 回折像取得方法、及び荷電粒子線装置
技術概要 荷電粒子線を試料22に照射し、試料22から発生する荷電粒子線を検出して試料の回折像を取得する荷電粒子線装置である。この装置は、荷電粒子線を荷電粒子源(電子源11)から発生させ、この発生させた荷電粒子線を試料22に照射し、この試料から発生した荷電粒子線を検出器(フィルム20もしくはCCDカメラ21)で検出する。次に、所定の測定条件で第1の試料の回折像を取得し、この取得した第1の試料における離散的な回折スポットを検出し、第1の試料における回折像の歪みを歪み測定手段で測定する。そして、第1の試料における回折像の歪みを補正するため、離散的な回折スポットから補正パラメータをパラメータ算出手段で算出し、この算出した補正パラメータを用いて、回折像の歪みを歪み補正手段で補正する。歪み測定手段は、所定の測定条件で第2の試料の回折像を取得して、第2の試料における回折像の歪みを測定し、歪み補正手段は、第1の試料に関する補正パラメータを用いて、第2の試料の回折像の歪みを補正する。なお、第1の試料は既知の構造の試料である。他に回折像取得方法の発明あり。
画像

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研究分野
  • 電磁場中の粒子の運動及び放射
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
  • 顕微鏡法
展開可能なシーズ 電子線を用いて結晶構造を分析するために回折像を観察する場合、電子顕微鏡の検出器がエバルト球に沿った球面状の検出器では、球面の曲率が固定あるために、カメラ長を可変できないので、様々な観察条件による観察を実現することができない。また、電子顕微鏡で用いられるレンズには、回折像面の曲がりとは別に、光軸からの離軸距離により変化する歪曲収差の問題があった。さらに、イオンポンプの磁場等の外的環境によって、回折像が歪む問題もある。そこで、回折像面に生じる曲がり、及び/又は歪曲収差の問題を解決する。
取得された回折像の歪み(回折像面に生じる曲がり、及び/又は歪曲収差)を補正し、これにより、未知試料の正確な構造の解析を回折像の精密な解析から行なうことが可能となる。
用途利用分野 荷電粒子線装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 株式会社日立製作所, 国立大学法人北海道大学, . 土橋 高志, 高口 雅成, 上村 理, 太田 洋也, 郷原 一寿, . 回折像取得方法、及び荷電粒子線装置. . 2011-07-28
  • H01J  37/153    
  • H01J  37/22     

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