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走査型プローブ顕微鏡

シーズコード S130012239
掲載日 2013年6月10日
研究者
  • 福間 剛士
  • 植田 泰仁
技術名称 走査型プローブ顕微鏡
技術概要 原子間力顕微鏡(AFM)1は走査型プローブ顕微鏡(SPM)の一種であり、探針-試料間の相互作用量として共振周波数シフトを検出する。AFM1は、試料に近接して配置されるカンチレバー3と、試料を保持する試料ステージ5とを有する。AFM1は、相互作用量を一定に保つように探針-試料距離のフィードバック制御を行いながら、距離変調制御を行う。距離変調制御は、探針-試料距離を、フィードバック制御の応答速度より速い距離変調周波数にて変動させる。更に、探針と試料の相対的な走査を行いながら距離変調制御により探針-試料距離が変動する間に検出される相互作用量を取得し、走査範囲内の広さと探針-試料距離の変動範囲内の厚みを有する3次元空間における相互作用量の分布を検出する。これにより、安定した探針位置制御を行いながら、3次元空間における探針試料間の相互作用の分布を好適に計測できる走査型プローブ顕微鏡が提供される。
画像

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研究分野
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
展開可能なシーズ 安定した探針位置制御を行いながら、3次元空間における探針試料間の相互作用の分布を好適に計測できる技術を提供する。
フィードバック制御により、安定な位置制御が確保される。更に、距離変調制御を行うことにより、3次元空間における相互作用量の分布を検出することができる。こうして、安定した探針位置制御を行いながら、3次元空間における探針試料間の相互作用の分布を計測できる。
用途利用分野 走査型プローブ顕微鏡
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人金沢大学, . 福間 剛士, 植田 泰仁, . 走査型プローブ顕微鏡. . 2012-07-26
  • G01Q  60/32     
  • G01Q  10/06     

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