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微粒子の製造方法

シーズコード S130012270
掲載日 2013年6月10日
研究者
  • 畠山 義清
  • 西川 恵子
技術名称 微粒子の製造方法
技術概要 液体高分子ポリエチレングリコールに貴金属、Si、Cdをスパッタリングする。液体高分子ポリエチレングリコールは、スパッタリングの際に液体であるポリエチレングリコールである。一般にスパッタリングを室温で行なう場合に液体である。数平均分子量で200以上800以下である。貴金属は、金、銀、銅、白金である。スパッタリングは、容器の中に液体の高分子ポリエチレングリコールを入れて配置し、この容器を真空チャンバー内に配置し、貴金属、Si、Cdをターゲットとして配置し、チャンバーを真空に引きながら希ガス等をターゲットに衝突させ、原子を容器中のポリエチレングリコールに到達させる。なおスパッタリングの温度は、20℃以上120℃以下で、時間は、10分以上180分以内である。スパッタリングの際の捕獲媒体であるポリエチレングリコールの温度を調整することで、微粒子に対し径、粒径を調整できる。スパッタリング後に、加熱する。加熱は、ポリエチレングリコール中に微粒子を保持させた状態で行う。加熱をすることで、作製した微粒子の径を調整できる。
画像

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研究分野
  • 金属組織学
展開可能なシーズ イオン液体代替の、より環境負荷が小さく安定的に金属微粒子を製造する方法を提供する。配線材料や医療用検査試薬等の原料素材として利用され、装置等の小型化はもちろん、微細ゆえ例えば量子効果等特殊な現象が発現し、特異な性能を有するナノレベル(10-9m程度)の金属微粒子である。
非常に高価なイオン液体に比べ市場価格が50分の1程度を達成することができる。ポリエチレングリコールには環境に負荷を与える元素は含まれておらず、非常に環境負荷が小さい。凝集を引き起こす恐れがある水溶液を使用しないので凝集を引き起こすおそれも小さいといった非常に大きな利点がある。加熱をすることで、作製した微粒子の径を調整することができる。スパッタリング後の加熱前の微粒子の大きさは、例えば金微粒子の場合、5nm以下の数nm程度のものが主となるが、加熱を行うことで10nm程度にまで大きくすることができる。
用途利用分野 貴金属ナノ粒子、銅ナノ粒子、シリコンナノ粒子、カドミウムナノ粒子
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人 千葉大学, . 畠山 義清, 西川 恵子, . 微粒子の製造方法. 特開2012-158785. 2012-08-23
  • B22F   9/02     
  • C23C  14/14     
  • C23C  14/58     
  • C23C  14/00     

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