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薄状部材のハンドリング装置

シーズコード S022000237
掲載日 2003年5月26日
研究者
  • 樋口 俊郎
研究者所属機関
  • 東京大学 大学院工学系研究科精密機械工学専攻
研究機関
  • 東京大学 大学院工学系研究科精密機械工学専攻
技術名称 薄状部材のハンドリング装置
技術概要 本技術は、静電気力を用いて薄板やフィルムを補助的に支持し、ほとんど非接触でハンドリングする技術に関するものである。 本技術は、実際の応用では対象物を完全に非接触にする必要がないことを加味し、対象物の局部、例えばエッジ部分を真空または強い静電気等で吸引固定した上で、対象物中央の重力により垂れ下がる部分を弱い静電気力で補助的に支持する非接触ハンドリング方法である。本システムでは、近接センサーの個数を減らしたり、なくすことも出来る。また、該板状物体を重力に対し斜めに保持することで、水平に保持するのと比較して省エネルギー・省スペースが可能となり、板状物体の搬送、反転、保管等を効率的にできる。
画像

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従来技術、競合技術の概要 既に板状物体を静電気力により浮上させるという完全な非接触ハンドリング方法「静電浮上システム」を提案しているが、ハンドリング対象物が広くて薄いほど必要とする近接センサーの個数が増え、システム構成費が高くなるという問題がある。
研究分野
  • 静電機器
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 空気浄化
展開可能なシーズ (1)完全に非接触ではなく、局部を機構的に接触支持し、中央部を静電気力で補助的に支持するハンドリング装置
(2)システム全体のセンサー数やコストを減らすことができるハンドリング装置
(3)該板状物体を重力に対し斜めに保持することで効率化を図るハンドリング装置
用途利用分野 液晶表示用基板、Siウエハ等の薄板運搬等
関連発表論文 (1)POH F, 樋口俊郎. 静電気吸引力を用いた薄いガラス板の非接触ハンドリング装置. 電磁力関連のダイナミックスシンポジウム講演論文集. vol.11st,1999,p.240‐245.
(2)樋口俊郎, JIN J, 金本学. ハードディスク用メディアの静電浮上. 電磁力関連のダイナミックスシンポジウム講演論文集. vol.6th,1994,p.417‐420.
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 樋口 俊郎, 傅 寶▲莱▼, . 薄状部材のハンドリング方法およびその装置. 特開2001-198759. 2001-07-24
  • B65G  49/06     
  • H01L  21/677    
  • B23Q   3/15     
  • H02N  13/00     

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